Как создать чистую комнату класса ISO 6? Сегодня мы рассмотрим 4 варианта проектирования чистых комнат класса ISO 6.
Вариант 1: Вентиляционная установка (AHU) + HEPA-фильтр.
Вариант 2: MAU (блок подачи свежего воздуха) + RCU (блок циркуляции воздуха) + HEPA-фильтр.
Вариант 3: Вентиляционная установка (AHU) + вентиляторно-фильтрующий блок (FFU) + технический промежуточный слой, подходит для небольших чистых помещений с высокой тепловой нагрузкой.
Вариант 4: MAU (блок подачи свежего воздуха) + DC (сухой теплообменник) + FFU (вентиляторно-фильтрующий блок) + технический промежуточный слой, подходит для чистых помещений с большими тепловыми нагрузками, например, для чистых помещений электроники.
Ниже представлены методы проектирования для 4 предложенных решений.
Вариант 1: Вентиляционная установка + HEPA-фильтр
Функциональные секции воздухообрабатывающей установки включают в себя новую секцию смешивания и фильтрации возвратного воздуха, секцию поверхностного охлаждения, секцию обогрева, секцию увлажнения, секцию вентиляторов и секцию выхода воздуха через фильтр средней степени фильтрации. После смешивания и обработки наружного и возвратного воздуха в воздухообрабатывающей установке для достижения требуемой температуры и влажности в помещении, они подаются в чистую комнату через HEPA-фильтр. Схема воздушного потока – верхняя подача и боковая обратка.
Вариант 2: MAU + RAU + HEPA-бокс
Функциональные секции установки подачи свежего воздуха включают секцию фильтрации свежего воздуха, секцию фильтрации воздуха средней степени очистки, секцию предварительного подогрева, секцию поверхностного охлаждения, секцию повторного подогрева, секцию увлажнения и секцию вывода воздуха через вентилятор. Функциональные секции циркуляционной установки: секция смешивания свежего воздуха с возвратным потоком, секция поверхностного охлаждения, секция вентилятора и секция вывода воздуха после фильтрации воздуха средней степени очистки. Наружный свежий воздух обрабатывается установкой подачи свежего воздуха для обеспечения требуемой влажности в помещении и заданной температуры подаваемого воздуха. После смешивания с возвратным воздухом он обрабатывается циркуляционной установкой и достигает температуры в помещении. После достижения температуры в помещении он подается в чистое помещение через HEPA-фильтр. Схема воздушного потока: верхняя подача и боковая обратка.
Вариант 3: Вентиляционная установка + теплообменник + технический промежуточный слой (подходит для небольших чистых помещений с высокой тепловой нагрузкой)
Функциональные секции воздухообрабатывающей установки включают в себя секцию смешивания и фильтрации возвратного воздуха, секцию поверхностного охлаждения, секцию обогрева, секцию увлажнения, секцию вентиляторов, секцию среднечастотного фильтра и секцию суб-HEPA-бокса. После смешивания и обработки наружного свежего воздуха и части возвратного воздуха в воздухообрабатывающей установке для достижения требуемой температуры и влажности в помещении, они направляются на техническую антресоль. После смешивания с большим объемом циркулирующего воздуха в блоке вентиляторного фильтра (FFU) они сжимаются в блоке вентиляторного фильтра (FFU) и затем направляются в чистое помещение. Схема воздушного потока – верхняя подача и боковая обратка.
Вариант 4: MAU + DC + FFU + технический промежуточный слой (подходит для чистых помещений с большими тепловыми нагрузками, например, для чистых помещений, занимающихся электроникой).
Функциональные секции установки включают в себя секцию фильтрации обратного воздуха, секцию поверхностного охлаждения, секцию обогрева, секцию увлажнения, секцию вентилятора и секцию фильтрации среды. После смешивания и обработки наружного и обратного воздуха в приточно-вытяжной установке для достижения требуемой температуры и влажности в помещении, в техническом промежуточном слое воздуховода он смешивается с большим объемом циркулирующего воздуха, обработанного сухим змеевиком, а затем подается в чистое помещение под давлением в блоке вентилятора-фильтра. Схема воздушного потока – верхняя подача и боковая обратка.
Существует множество вариантов конструкции для достижения чистоты воздуха по стандарту ISO 6, и конкретный вариант должен основываться на реальных условиях.
Дата публикации: 05 марта 2024 г.