• page_banner

АНАЛИЗ И РЕШЕНИЕ ПРОБЛЕМЫ ЧРЕЗМЕРНОГО ОБНАРУЖЕНИЯ КРУПНЫХ ЧАСТИЦ В ПРОЕКТАХ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ЧИСТЫХ ПОМЕЩЕНИЙ

проект чистой комнаты
счетчик частиц

После ввода в эксплуатацию на объекте в соответствии со стандартом класса 10000, такие параметры, как объем воздуха (количество воздухообменов), перепад давления и количество бактерий, присутствующих в осадке, соответствуют проектным требованиям (GMP), и только один параметр обнаружения пылевых частиц не соответствует требованиям (класс 100000). Результаты измерений с помощью счетчика показали, что количество крупных частиц превышает стандарт, в основном это частицы размером 5 мкм и 10 мкм.

1. Анализ отказов

Причина превышения допустимого уровня крупных частиц, как правило, кроется в чистых помещениях с высокой степенью чистоты. Если эффективность очистки воздуха в чистом помещении недостаточна, это напрямую повлияет на результаты испытаний; на основе анализа данных об объеме воздуха и предыдущего инженерного опыта теоретические результаты испытаний для некоторых помещений должны соответствовать классу 1000; предварительный анализ представлен ниже:

①. Качество уборки не соответствует стандартам.

②. Наблюдается утечка воздуха из корпуса HEPA-фильтра.

③. HEPA-фильтр протекает.

④. Отрицательное давление в чистой комнате.

⑤. Объёма воздуха недостаточно.

⑥. Фильтр кондиционера засорился.

⑦. Фильтр подачи свежего воздуха засорен.

На основании проведенного анализа организация организовала повторную проверку состояния чистых помещений и установила, что объем воздуха, перепад давления и другие параметры соответствуют проектным требованиям. Чистота всех чистых помещений соответствовала классу 100000, однако содержание пылевых частиц размером 5 мкм и 10 мкм превышало стандарт и не соответствовало проектным требованиям класса 10000.

2. Проанализируйте и устраните возможные неисправности по одной.

В предыдущих проектах возникали ситуации, когда из-за засорения первичного или среднеэффективного фильтра или самого устройства возникала недостаточная разница давлений и уменьшение объема подаваемого воздуха. После осмотра устройства и измерения объема воздуха в помещении было установлено, что пункты ④⑤⑥⑦ не соответствуют действительности; оставшийся пункт ④⑤⑥⑦ касался чистоты и эффективности работы устройства; на самом деле уборка на месте не проводилась. При осмотре и анализе проблемы рабочие специально провели уборку чистого помещения. Результаты измерений по-прежнему показывали превышение допустимого уровня крупных частиц, после чего были поочередно открыты HEPA-фильтры для сканирования и фильтрации. Результаты сканирования показали, что один из HEPA-фильтров был поврежден посередине, и значения количества частиц в рамке между всеми остальными фильтрами и HEPA-фильтром резко возросли, особенно для частиц размером 5 мкм и 10 мкм.

3. Решение

Поскольку причина проблемы найдена, ее легко решить. Все фильтрующие блоки HEPA, используемые в этом проекте, имеют болтовое крепление и фиксируются. Между рамой фильтра и внутренней стенкой блока HEPA имеется зазор в 1-2 см. После заполнения зазоров уплотнительными лентами и герметизации нейтральным герметиком чистота помещения по-прежнему соответствует классу 100000.

4. Повторный анализ неисправностей

После герметизации рамы HEPA-фильтра и сканирования фильтра, место утечки в фильтре отсутствует, поэтому проблема по-прежнему сохраняется на внутренней стенке вентиляционного отверстия. Затем мы снова просканировали раму: результаты проверки внутренней стенки HEPA-фильтра. После проверки герметичности мы повторно осмотрели зазор внутренней стенки HEPA-фильтра и обнаружили, что количество крупных частиц по-прежнему превышает допустимые нормы. Сначала мы предположили, что это явление вихревых токов в месте соединения фильтра и внутренней стенки. Мы подготовили пленку длиной 1 м, которую развесили вдоль рамы HEPA-фильтра. Левая и правая пленки использовались в качестве защитного экрана, после чего был проведен тест на чистоту под HEPA-фильтром. При подготовке к наклеиванию пленки было обнаружено отслоение краски на внутренней стенке и наличие сплошного зазора.

5. Удалите пыль из HEPA-фильтра.

Наклейте алюминиевую фольгу на внутреннюю стенку HEPA-фильтра, чтобы уменьшить количество пыли на внутренней стенке самого воздуховода. После наклеивания алюминиевой фольги проведите измерение количества пылевых частиц вдоль рамки HEPA-фильтра. После обработки данных, сравнивая результаты измерения количества частиц до и после обработки, можно четко определить, что причиной превышения нормы количества крупных частиц является пыль, рассеиваемая самим HEPA-фильтром. После установки защитной крышки диффузора чистое помещение было повторно протестировано.

6. Резюме

Крупные частицы, превышающие допустимые нормы, редко встречаются в проектах чистых помещений и могут быть полностью предотвращены; анализ проблем, выявленных в данном проекте чистого помещения, показывает необходимость усиления управления проектом в будущем; эта проблема связана с недостаточным контролем закупки сырья, что приводит к рассеиванию пыли в HEPA-боксе. Кроме того, в процессе монтажа не было обнаружено зазоров в HEPA-боксе или отслоения краски. Также отсутствовал визуальный осмотр перед установкой фильтра, а некоторые болты были недостаточно затянуты при установке фильтра, что свидетельствует о недостатках в управлении. Хотя основной причиной является пыль из HEPA-бокса, строительство чистого помещения не может быть небрежным. Только путем осуществления управления качеством и контроля на протяжении всего процесса, от начала строительства до завершения, можно достичь ожидаемых результатов на этапе ввода в эксплуатацию.


Дата публикации: 01.09.2023