1. Удаление частиц пыли в чистой комнате без пыли
Основная функция чистой комнаты заключается в контроле чистоты, температуры и влажности атмосферы, которую подвергаются продуктам (например, кремниевым чипам и т. Д.), чтобы продукты могли производиться и изготовлены в хорошем пространстве окружающей среды. Мы называем это пространство как чистая комната. Согласно международной практике, уровень чистоты в основном определяется количеством частиц на кубический метр воздуха диаметром больше, чем стандарт классификации. Другими словами, так называемый без пыли не на 100% не содержат пыли, а контролируется в очень маленьком блоке. Конечно, частицы, которые соответствуют стандарту пыли в этом стандарте, уже очень малы по сравнению с общей пылью, которую мы видим, но для оптических структур даже немного пыли окажет очень большое негативное воздействие, поэтому без пыли неизбежна требование В производстве продуктов оптической структуры.
Контроль количества частиц пыли с размером частиц, превышающим или равным 0,5 микрон на кубический метр до менее 3520/кубический метр, достигнет класса A Международного стандарта без пыли. Бесплатный стандарт, используемый в производстве и обработке уровня чипа, имеет более высокие требования для пыли, чем класс A, и такой высокий стандарт в основном используется в производстве некоторых чипов более высокого уровня. Количество частиц пыли строго контролируется на уровне 35 200 на кубический метр, который обычно называют классом B в промышленности в чистой комнате.
2. Три вида чистых состояний комнаты
Пустая чистая комната: чистая комната, которая была построена и может быть использована в использовании. Он имеет все соответствующие услуги и функции. Тем не менее, нет оборудования, управляемого операторами на объекте.
Статическая чистая комната: чистая комната с полными функциями, правильные настройки и установка, которую можно использовать в соответствии с настройками или используется, но на объекте нет операторов.
Динамическая чистая комната: чистая комната в обычном использовании, с полными функциями обслуживания, оборудованием и персоналом; При необходимости может быть выполнена нормальная работа.
3. элементы управления
(1). Может удалить частицы пыли, плавающие в воздухе.
(2). Может предотвратить генерацию частиц пыли.
(3). Контроль температуры и влажности.
(4). Регулирование давления.
(5). Устранение вредных газов.
(6). Воздушность конструкций и отсеков.
(7). Профилактика статического электричества.
(8). Профилактика электромагнитных помех.
(9). Рассмотрение факторов безопасности.
(10). Рассмотрение экономии энергии.
4. Классификация
Турбулентный тип потока
Воздух попадает в чистую комнату из кондиционирования воздушного воздуха и воздуховода и воздушного фильтра (HEPA) в чистой комнате и возвращается из настенных панелей перегородки или поднятых полов с обеих сторон чистой комнаты. Воздушный поток не движется линейно, а представляет нерегулярное турбулентное или вихревое состояние. Этот тип подходит для чистой комнаты класса 1000-100 000.
Определение: чистая комната, где воздушный поток течет на неровной скорости и не параллелен, сопровождается обратным или вихревым током.
Принцип: турбулентные чистые комнаты полагаются на воздушный поток воздуха, чтобы непрерывно разбавлять воздух в помещении и постепенно разбавлять загрязненный воздух для достижения чистоты (турбулентные чистые комнаты обычно спроектированы на уровнях чистоты выше 1000 до 300 000).
Особенности: турбулентные чистые комнаты полагаются на множественную вентиляцию для достижения чистоты и чистоты. Количество изменений вентиляции определяет уровень очистки в определении (чем больше изменений вентиляции, тем выше уровень чистоты)
(1) Время самоонижения: относится к времени, когда чистая комната начинает подавать воздух в чистую комнату в соответствии с спроектированным номером вентиляции, а концентрация пыли в комнате достигает разработанного уровня чистоты класс 1000, как ожидается, больше не будет больше чем 20 минут (15 минут можно использовать для расчета). Ожидается, что класс 10 000 будет не более 30 минут (для расчета можно использовать 25 минут). Ожидается, что класс 100 000, как ожидается, будет не более 40 минут (30 минут можно использовать для Расчет)
(2) Частота вентиляции (разработанная в соответствии с вышеуказанными требованиями к самоочищанию) класс 1000: 43,5-55,3 раза в час (стандарт: 50 раз в час). ) Класс 100 000: 14,4-19,2 раза в час (стандарт: 15 раз в час)
Преимущества: простая структура, низкая стоимость строительства системы, легко расширить чистую комнату, в некоторых местах специальных целей, для улучшения чистой класса, без пыли, можно использовать без пыли.
Недостатки: частицы пыли, вызванные турбулентностью в помещении, и их трудно разряжать, что может легко загрязнять процессовые продукты. Кроме того, если система остановлена, а затем активируется, часто требуется много времени для достижения необходимой чистоты.
Ламинарный поток
Ламинарный поток воздух перемещается по однородной прямой линии. Воздух попадает в комнату через фильтр со 100% -ным уровнем покрытия и возвращается через повышенный пол или доски перегородков с обеих сторон. Этот тип подходит для использования в среде чистых комнат с более высокими оценками чистых комнат, как правило, класс 1 ~ 100. Есть два типа:
(1) Горизонтальный ламинарный поток: горизонтальный воздух выдувается из фильтра в одном направлении и возвращается обратной воздушной системой на противоположной стене. Пыль сбрасывается на открытом воздухе с воздушным направлением. Как правило, загрязнение более серьезное на стороне вниз по течению.
Преимущества: простая структура может стать стабильной за короткое время после работы.
Недостатки: стоимость строительства выше, чем турбулентный поток, а в помещении нелегко расширить пространство.
(2) Вертикальный ламинарный поток: потолок комнаты полностью покрыт фильтрами ULPA, а воздух взорван сверху вниз, что может достичь более высокой чистоты. Пыль, генерируемая во время процесса или персоналом, может быть быстро разряжена на открытом воздухе, не затрагивая другие рабочие зоны.
Преимущества: простые в управлении, стабильное состояние может быть достигнуто в течение короткого времени после начала операции, и их нелегко затронуть операционное состояние или операторы.
Недостатки: высокая стоимость строительства, трудно гибко использовать пространство, потолочные вешалки занимают много места, и хлопотно для ремонта и замены фильтров.
Составной тип
Композитный тип состоит в том, чтобы объединить или использовать турбулентный тип потока и тип ламинарного потока вместе, что может обеспечить локальный ультрачистый воздух.
(1) Чистый туннель: используйте фильтры HEPA или ULPA, чтобы покрыть 100% площади процесса или рабочей зоны, чтобы повысить уровень чистоты до вышеуказанного класса 10, что может сэкономить затраты на установку и эксплуатацию.
Этот тип требует, чтобы рабочая зона оператора была изолирована от продукта и технического обслуживания машины, чтобы не влиять на работу и качество во время технического обслуживания машины.
Чистые туннели имеют два других преимущества: A. Легко развернуть гибко; B. Техническое обслуживание оборудования может быть легко выполнено в зоне технического обслуживания.
(2) Чистая трубка: окружают и очищайте автоматическую производственную линию, через которую проходит поток продукта, и увеличивает уровень чистоты до вышеуказанного класса. Поставка воздуха может достичь хорошей чистоты, которая может сэкономить энергию и наиболее подходит для автоматизированных производственных линий, которые не требуют ручного труда. Это применимо к фармацевтической, пищевой и полупроводниковой промышленности.
(3) Чистое пятно: уровень чистоты площади процесса продукта в турбулентной чистой комнате с чистым уровнем комнаты в 10 000 ~ 100 000 человек увеличивается до 10 ~ 1000 или выше для производственных целей; Чистые рабочие плиты, чистые навесы, сборные чистые комнаты и чистые шкафы принадлежат этой категории.
Чистая скамейка: класс 1 ~ 100.
Чистая стенд: небольшое пространство, окруженное антистатической прозрачной пластиковой тканью в турбулентном пространстве чистой комнаты, используя независимые блоки HEPA или ULPA и кондиционирование воздуха, чтобы стать чистым пространством более высокого уровня, с уровнем 10 ~ 1000, высота примерно 2,5 метра и площадь покрытия около 10 м2 или менее. Он имеет четыре столба и оснащен подвижными колесами для гибкого использования.
5. Поток воздушного потока
Важность воздушного потока
На чистоту чистой комнаты часто страдают воздушный поток. Другими словами, движение и распространение пыли, генерируемой людьми, машинными отсеками, строительными конструкциями и т. Д. контролируются воздушным потоком.
Чистая комната использует HEPA и ULPA для фильтрации воздуха, а скорость сбора пыли достигает 99,97 ~ 99,9995%, поэтому воздух, отфильтрованный этим фильтром, можно сказать очень чистым. Однако в дополнение к людям, есть также источники пыли, такие как машины в чистой комнате. После того, как эти сгенерированные пыли распространяются, невозможно поддерживать чистое пространство, поэтому воздушный поток должен использоваться для быстрого сброса генерируемой пыли на открытом воздухе.
Влияющие факторы
Существует много факторов, которые влияют на воздушный поток чистой комнаты, такие как обработка, персонал, материалы для сборочных помещений, осветительные приспособления и т. Д. В то же время, точка отвлечения воздушного потока над производственным оборудованием также должна быть принята в рассмотрение.
Точка отвлечения воздушного потока на поверхности общего рабочего стола или производственного оборудования должна быть установлена на 2/3 расстояния между пространством чистой комнаты и доской перегородки. Таким образом, когда оператор работает, воздушный поток может течь изнутри области процесса в рабочую зону и забрать пыль; Если точка диверсии настроена перед области процесса, она станет неправильным отвлечением воздушного потока. В настоящее время большая часть воздушного потока будет переходить к задней части области процесса, а пыль, вызванная работой оператора, будет перенесена в заднюю часть оборудования, а рабочая палочка будет загрязнена, и выход неизбежно уменьшится.
Такие препятствия, как рабочие столы в чистых комнатах, будут иметь вихревые токи на соединении, а чистота рядом с ними будет относительно бедной. Бурение обратного воздушного отверстия на рабочем столе минимизирует явление вихревого тока; Подходит ли выбор материалов сборки и является ли идеальная компоновка оборудования, также важными факторами для того, становится ли воздушный поток феноменом вихревого тока.
6. Композиция чистой комнаты
Композиция чистой комнаты состоит из следующих систем (ни одна из которых не является незаменимой в молекулах системы), в противном случае невозможно сформировать полную и высококачественную чистую комнату:
(1) Потолочная система: включая потолочный стержень, i-beam или u-beam, потолочная сетка или потолочная рама.
(2) Система кондиционирования воздуха: включая воздушную кабину, систему фильтров, ветряную мельницу и т. Д.
(3) Перегородка: включая окна и двери.
(4) Пол: в том числе поднятый этаж или антистатический пол.
(5) Освещающие приспособления: светодиодная очистка плоская лампа.
Основная структура чистой комнаты, как правило, изготовлена из стальных стержней или костного цемента, но независимо от того, какая это структура, она должна соответствовать следующим условиям:
О. Трещины не произойдут из -за изменений температуры и вибраций;
B. Это нелегко произвести частицы пыли, и частицам трудно прикреплять частицы;
C. Низкая гигроскопичность;
D. Чтобы поддерживать условия влажности в чистой комнате, теплоизоляция должна быть высокой;
7. Классификация по использованию
Промышленная чистая комната
Контроль неодушевленных частиц является объектом. В основном он контролирует загрязнение частиц воздушной пыли для рабочего объекта, и интерьер обычно поддерживает состояние положительного давления. Он подходит для промышленности точной машины, электроники (полупроводники, интегрированные схемы и т. Д.), Аэрокосмическую промышленность, химическую промышленность высокой чистоты, атомная энергетическая промышленность, оптическая и магнитная промышленность (CD, пленка, производство ленты) ЖК-индекс (Liquid Crystal стекло), компьютерный жесткий диск, производство головки компьютера и другие отрасли.
Биологическая чистая комната
В основном контролирует загрязнение живых частиц (бактерий) и неодушевленных частиц (пыль) с рабочим объектом. Это можно разделить на;
A. Общая биологическая чистая комната: в основном контролирует загрязнение микробных (бактериальных) объектов. В то же время его внутренние материалы должны быть в состоянии противостоять эрозии различных стерилизующих агентов, и интерьер обычно гарантирует положительное давление. По сути, внутренние материалы должны быть в состоянии выдерживать различные стерилизационные обработки промышленной чистой комнаты. Примеры: фармацевтическая промышленность, больницы (операционные, стерильные палаты), продукты питания, косметика, производство продуктов для напитков, лаборатории для животных, лаборатории физических и химических испытаний, станции крови и т. Д.
B. Биологическая безопасность Чистая комната: в основном контролирует загрязнение живых частиц рабочего объекта для внешнего мира и людей. Внутреннее давление должно поддерживаться отрицательным с атмосферой. Примеры: бактериология, биология, чистые лаборатории, физическая инженерия (рекомбинантные гены, подготовка вакцины)
Время публикации: февраль-07-2025