Стандарт ISO 14644-5 требует, чтобы установка стационарного оборудования в чистых помещениях осуществлялась с учётом конструкции и назначения помещения. Ниже будут представлены следующие сведения.
1. Метод установки оборудования: Идеальным методом является закрытие чистой комнаты на время установки оборудования и наличие двери, которая может соответствовать углу обзора оборудования, или резервирование канала на плате для пропуска нового оборудования и входа в чистую комнату с целью предотвращения загрязнения чистой комнаты в период ее установки; следует принять защитные меры, чтобы гарантировать, что чистая комната по-прежнему будет соответствовать требованиям к чистоте и необходимым последующим работам.
2. Если работа в чистом помещении не может быть остановлена во время каждого периода монтажа или если есть конструкции, которые необходимо демонтировать, работающее чистое помещение должно быть эффективно изолировано от рабочей зоны: можно использовать временные изоляционные стены или перегородки. Чтобы не мешать монтажным работам, вокруг оборудования должно быть достаточно места. Если позволяют условия, доступ в изолированную зону может осуществляться через служебные каналы или другие некритические зоны: если это невозможно, следует принять меры для минимизации воздействия загрязнений, вызванных монтажными работами. В изолированной зоне должно поддерживаться постоянное или отрицательное давление. Подача чистого воздуха должна быть прекращена в высотной зоне, чтобы избежать положительного давления в соседних чистых помещениях. Если доступ в изолированную зону осуществляется только через соседнее чистое помещение, следует использовать липкие салфетки для удаления грязи с обуви.
3. После входа в высотную зону можно использовать одноразовые ботинки или бахилы и цельную рабочую одежду, чтобы избежать загрязнения чистой одежды. Эти одноразовые предметы следует снять перед выходом из карантинной зоны. Должны быть разработаны методы мониторинга зоны вокруг зоны изоляции во время процесса установки оборудования и определена частота мониторинга, чтобы гарантировать обнаружение любого загрязнения, которое может просочиться в соседнее чистое помещение. После того, как меры изоляции будут приняты, могут быть установлены различные необходимые коммунальные службы, такие как электроснабжение, водоснабжение, газоснабжение, вакуум, сжатый воздух и канализация. Следует уделять внимание контролю и изоляции дыма и мусора, образующихся в ходе операции, насколько это возможно, чтобы избежать непреднамеренного распространения в окружающее чистое помещение. Это также должно способствовать эффективной уборке перед снятием изоляционного барьера. После того, как коммунальные службы соответствуют требованиям использования, вся изолированная зона должна быть очищена и дезактивирована в соответствии с предписанными процедурами очистки. Все поверхности, включая стены, оборудование (стационарное и передвижное) и полы, следует очищать пылесосом, протирать и мыть шваброй, уделяя особое внимание уборке участков за защитными ограждениями оборудования и под оборудованием.
4. Предварительное испытание работоспособности оборудования может быть проведено с учётом фактических условий чистого помещения и установленного оборудования, однако последующие приёмочные испытания следует проводить после полного соответствия требованиям чистой среды. В зависимости от условий на месте установки можно начать осторожный демонтаж изоляционной стены; если подача чистого воздуха была отключена, возобновить её; время выполнения этого этапа работ следует тщательно выбирать, чтобы минимизировать помехи нормальной работе чистого помещения. В это время может потребоваться измерение концентрации частиц в воздухе, соответствующей заданным требованиям.
5. Очистка и подготовка внутренних поверхностей оборудования и основных технологических камер должны проводиться в условиях обычной чистой комнаты. Все внутренние камеры и все поверхности, контактирующие с продуктом или участвующие в его транспортировке, должны быть протерты до требуемого уровня чистоты. Последовательность очистки оборудования должна осуществляться сверху вниз. При рассредоточении частиц более крупные частицы будут падать на дно оборудования или на землю под действием силы тяжести. Очистку наружных поверхностей оборудования следует проводить сверху вниз. При необходимости следует проводить обнаружение поверхностных частиц в зонах, где требования к продукту или производственному процессу имеют решающее значение.
6. Учитывая особенности чистых помещений, особенно большую площадь, высокие инвестиции, высокую производительность и очень строгие требования к чистоте, предъявляемые к высокотехнологичным чистым помещениям, монтаж производственного оборудования на таких чистых предприятиях во многом схож с монтажом на обычных чистых предприятиях. В связи с этим в 2015 году был выпущен национальный стандарт «Кодекс строительства и приемки качества чистых предприятий», который регламентирует монтаж производственного оборудования на чистых предприятиях, в частности, следующие положения.
1. Чтобы предотвратить загрязнение или даже повреждение чистого помещения, прошедшего «пустую» приемку во время монтажа оборудования производственного процесса, процесс монтажа оборудования не должен сопровождаться чрезмерной вибрацией или наклоном, а также не должен разделять и загрязнять поверхности оборудования.
2. Для обеспечения упорядоченного монтажа производственного оборудования в чистом помещении, без или с минимальным количеством стояния, а также для соблюдения системы управления чистым производством в чистом цехе, необходимо обеспечить безопасность процесса монтажа производственного оборудования, учитывая различные «готовые изделия» и «полуфабрикаты», принимаемые в «пустом» состоянии. Материалы, машины и т.д., используемые в процессе монтажа, не должны выделять и создавать (в том числе при нормальной эксплуатации чистого помещения в течение длительного времени) загрязняющие вещества, вредные для производимой продукции. Необходимо использовать чистые материалы, не содержащие пыли, ржавчины, смазки и не образующие пыли при использовании.
3. Поверхность отделки здания в чистом помещении должна быть защищена чистыми, обеспыленными плитами, пленками и другими материалами; опорная плита под оборудование должна быть изготовлена в соответствии с требованиями проекта или технической документации на оборудование. При отсутствии таких требований следует использовать листы из нержавеющей стали или пластика. Профили из углеродистой стали, используемые для независимых фундаментов и арматуры перекрытий, должны быть обработаны антикоррозионным составом, а поверхность должна быть ровной и гладкой; для заделки швов следует использовать эластичные герметики.
4. Материалы должны быть маркированы с указанием ингредиентов, разновидностей, даты изготовления, срока годности хранения, инструкциями по методу изготовления и сертификатами квалификации продукта. Оборудование и инструменты, используемые в чистых помещениях, нельзя перемещать в нечистые помещения для использования. Оборудование и инструменты нельзя перемещать в чистую комнату для использования. Оборудование и инструменты, используемые в чистой зоне, должны обеспечивать отсутствие пыли на открытых частях и принимать меры для предотвращения загрязнения окружающей среды пылью. Оборудование и инструменты, используемые в обычной зоне, следует очищать в шлюзе перед перемещением в чистую зону. Оборудование и инструменты должны соответствовать требованиям по отсутствию масла, грязи, пыли и ржавчины, и должны перемещаться после прохождения проверки и нанесения знака «Чисто» или «Только для чистой зоны».
5. Производственное оборудование в чистом помещении должно быть установлено на «специальных полах», например, на фальшполах. Фундамент оборудования, как правило, устанавливается на нижнем техническом антресольном этаже или на цементной пористой плите; работы, которые необходимо выполнить для установки фундамента, включают: Конструкция пола после резки ручной электропилой должна быть усилена, а его несущая способность не должна быть ниже исходной. При использовании независимого фундамента из стального каркаса он должен быть изготовлен из оцинкованного материала или нержавеющей стали, а открытая поверхность должна быть ровной и гладкой.
⑥. Если для установки производственного оборудования в чистом помещении требуется проделывание отверстий в стеновых панелях, подвесных потолках и фальшполах, сверление не должно повредить или загрязнить поверхности стеновых панелей и подвесных потолков, которые необходимо сохранить. После проделывания отверстий в фальшполе, если фундамент не может быть установлен вовремя, следует установить защитные ограждения и предупреждающие знаки; после установки производственного оборудования зазор вокруг отверстия должен быть герметизирован, оборудование и уплотнительные элементы должны находиться в подвижном контакте, а соединение уплотнительного элемента с настенной плитой должно быть плотным и прочным; уплотнительная поверхность с одной стороны рабочего помещения должна быть ровной и гладкой.
Время публикации: 06 сентября 2023 г.