Стандарт ISO 14644-5 требует, чтобы установка стационарного оборудования в чистых помещениях основывалась на конструкции и функциях чистого помещения. Подробности будут представлены ниже.
1. Способ установки оборудования: Идеальный способ — закрыть чистую комнату на время установки оборудования и установить дверь, обеспечивающую обзор оборудования, или предусмотреть канал на панели, позволяющий новому оборудованию проходить через нее и попадать в чистую комнату. Это позволит предотвратить загрязнение чистой комнаты в период установки. Необходимо принять защитные меры, чтобы чистая комната соответствовала требованиям чистоты и обеспечивала бесперебойность последующих работ.
2. Если работы в чистом помещении невозможно остановить на время каждого периода монтажа, или если необходимо демонтировать конструкции, работающее чистое помещение должно быть эффективно изолировано от рабочей зоны: можно использовать временные изоляционные стены или перегородки. Чтобы не препятствовать монтажным работам, вокруг оборудования должно быть достаточно места. Если позволяют условия, доступ в зону изоляции может осуществляться через служебные каналы или другие некритические зоны; если это невозможно, следует принять меры для минимизации воздействия загрязнения, вызванного монтажными работами. В зоне изоляции должно поддерживаться равное или отрицательное давление. Подача чистого воздуха в высотной части помещения должна быть перекрыта, чтобы избежать избыточного давления в окружающих чистых помещениях. Если доступ в зону изоляции возможен только через соседнее чистое помещение, для удаления грязи с обуви следует использовать клейкие подушечки.
3. После входа в высокогорную зону можно использовать одноразовые ботинки или бахилы и цельную рабочую одежду, чтобы избежать загрязнения чистой одежды. Эти одноразовые предметы следует снять перед выходом из карантинной зоны. Необходимо разработать методы мониторинга территории вокруг изоляционной зоны во время установки оборудования и определить частоту мониторинга, чтобы выявлять любые загрязнения, которые могут проникнуть в соседнее чистое помещение. После установки изоляционных мер можно установить различные необходимые коммуникации, такие как электроснабжение, водоснабжение, газоснабжение, вакуумная система, системы сжатого воздуха и канализационные трубопроводы. Следует уделять внимание контролю и изоляции дыма и мусора, образующихся в ходе работ, чтобы избежать непреднамеренного распространения в окружающее чистое помещение. Также необходимо обеспечить эффективную очистку перед снятием изоляционного барьера. После того, как коммуникации будут соответствовать требованиям эксплуатации, вся изоляционная зона должна быть очищена и дезинфицирована в соответствии с предписанными процедурами очистки. Все поверхности, включая стены, оборудование (стационарное и передвижное) и полы, следует пропылесосить, протереть и вымыть, уделяя особое внимание очистке участков за защитными кожухами оборудования и под ним.
4. Предварительная проверка работоспособности оборудования может проводиться с учетом фактических условий чистого помещения и установленного оборудования, однако последующие приемочные испытания следует проводить после полного обеспечения условий чистой среды. В зависимости от условий на месте установки можно приступить к аккуратному демонтажу изоляционной стены; если подача чистого воздуха была отключена, ее следует возобновить; время для этого этапа работ следует тщательно выбирать, чтобы минимизировать помехи нормальной работе чистого помещения. На этом этапе может потребоваться измерение того, соответствует ли концентрация взвешенных в воздухе частиц установленным требованиям.
5. Очистка и подготовка внутренних поверхностей оборудования и ключевых технологических камер должны проводиться в обычных условиях чистых помещений. Все внутренние камеры и все поверхности, контактирующие с продуктом или участвующие в его транспортировке, должны быть протерты до требуемого уровня чистоты. Очистка оборудования должна производиться сверху вниз. При разбрасывании частиц более крупные частицы будут оседать на дне оборудования или на полу под действием силы тяжести. Очистка внешней поверхности оборудования производится сверху вниз. При необходимости в зонах, где требования к продукту или производственному процессу имеют критическое значение, следует проводить обнаружение частиц на поверхности.
6. Учитывая характеристики чистых помещений, особенно их большую площадь, высокие инвестиции, высокую производительность и очень строгие требования к чистоте, предъявляемые к высокотехнологичным чистым помещениям, установка технологического оборудования в таких чистых цехах больше похожа на установку в обычных чистых помещениях. В связи с этим в национальном стандарте «Кодекс строительства и приемки качества чистых цехов», выпущенном в 2015 году, были внесены некоторые положения, касающиеся установки технологического оборудования в чистых цехах, в основном включающие следующее.
①. Во избежание загрязнения или даже повреждения чистого помещения, прошедшего «пустую» приемку, в процессе установки технологического оборудования, установка оборудования не должна сопровождаться чрезмерной вибрацией или наклоном, а также не должна приводить к повреждению и загрязнению поверхностей оборудования.
②. Для обеспечения упорядоченной и бесперебойной установки технологического оборудования в чистом помещении, а также для соблюдения системы управления чистым производством в чистом цехе, необходимо обеспечить защиту процесса установки оборудования в соответствии с различными типами «готовой продукции» и «полуфабрикатов», принимаемых в «пустом состоянии». Материалы, машины и т. д., используемые в процессе установки, не должны выделять или производить (в том числе при длительной нормальной работе в чистом помещении) загрязняющие вещества, вредные для производимой продукции. Следует использовать чистые материалы, не содержащие пыли, ржавчины, смазки и не образующие пыли во время эксплуатации.
③. Отделочные поверхности здания в чистом помещении следует защищать чистыми, безпылевыми плитами, пленками и другими материалами; опорная плита оборудования должна быть изготовлена в соответствии с требованиями проекта или технической документации на оборудование. При отсутствии требований следует использовать плиты из нержавеющей стали или пластика. Профили из углеродистой стали, используемые для независимых фундаментов и усиления перекрытий, должны быть обработаны антикоррозийным составом, а их поверхность должна быть ровной и гладкой; для герметизации используются эластичные уплотнители.
④. Материалы должны быть маркированы с указанием состава, разновидностей, даты изготовления, срока годности, инструкций по способу изготовления и сертификатов соответствия продукции. Оборудование и инструменты, используемые в чистых помещениях, не должны перемещаться в нечистые помещения для использования. Оборудование и инструменты не должны перемещаться в чистое помещение для использования. Оборудование и инструменты, используемые в чистой зоне, должны обеспечивать отсутствие пыли на открытых частях или принимать меры для предотвращения загрязнения окружающей среды пылью. Часто используемые машины и инструменты должны быть очищены в шлюзе перед перемещением в чистую зону. Они должны соответствовать требованиям отсутствия масла, грязи, пыли и ржавчины, и должны перемещаться после прохождения проверки и размещения знака «Чистота» или «Только чистая зона».
⑤. Технологическое оборудование в чистом помещении необходимо устанавливать на «специальных этажах», таких как фальшполы. Фундамент оборудования, как правило, следует устанавливать на нижнем техническом мезонине или на цементной пористой плите; работы по демонтажу конструкции пола после распиловки ручной электрической пилой должны быть усилены, а его несущая способность не должна быть ниже первоначальной. При использовании независимого фундамента из стальной каркасной конструкции он должен быть изготовлен из оцинкованного материала или нержавеющей стали, а открытая поверхность должна быть ровной и гладкой.
⑥. При монтаже производственного оборудования в чистом помещении, требующем сверления отверстий в стеновых панелях, подвесных потолках и фальшполах, сверление не должно повреждать или загрязнять поверхности стеновых и подвесных потолочных панелей, которые необходимо закрепить. После вскрытия фальшпола, если установка фундамента невозможна вовремя, следует установить защитные ограждения и предупреждающие знаки; после установки производственного оборудования зазор вокруг отверстия должен быть герметизирован, оборудование и уплотнительные элементы должны находиться в гибком контакте, а соединение между уплотнительным элементом и стеновой панелью должно быть плотным и надежным; уплотнительная поверхность с одной стороны рабочего помещения должна быть ровной и гладкой.
Дата публикации: 06.09.2023