IS0 14644-5 требует, чтобы установка фиксированного оборудования в чистых комнатах основывалась на проектировании и функции чистой комнаты. Следующие данные будут представлены ниже.
1. Метод установки оборудования: Идеальный метод - закрыть чистую комнату в течение периода установки оборудования и иметь дверь, которая может соответствовать углу обзора оборудования или зарезервировать канал на плате, чтобы позволить новое оборудование проходить и вводить чистоту Комната. Чтобы предотвратить загрязнение чистой комнаты вблизи периода установки, следует принять защитные меры, чтобы гарантировать, что чистая комната все еще соответствует требованиям к чистоте и необходимой последующей работе.
2. Если работа в чистой комнате не может быть остановлена в течение каждого периода установки, или если есть структуры, которые необходимо демонтировать, чистая комната должна быть эффективно изолирована из рабочей зоны: можно использовать временные стены или разделы. Чтобы не препятствовать установке, вокруг оборудования должно быть достаточно места. Если условия позволяют, доступ к области изоляции может быть через каналы обслуживания или другие некритические области: если это невозможно, следует принимать меры, чтобы минимизировать воздействие загрязнения, вызванное установкой. Площадь изоляции должна поддерживать равное давление или отрицательное давление. Чистый подарок воздуха должен быть отключен в высотной области, чтобы избежать положительного давления на окружающие чистые комнаты. Если доступ к зоне изоляции проходит только через соседнюю чистую комнату, липкие прокладки следует использовать для удаления грязи из обуви.
3. После входа в область высокой высоты одноразовые ботинки или заглушки и цельному рабочей одежде можно использовать, чтобы избежать загрязнения чистой одежды. Эти одноразовые предметы должны быть удалены до того, как покинуть зону карантина. Методы мониторинга площади вокруг зоны изоляции во время процесса установки оборудования должны быть разработаны, и следует определить частоту мониторинга, чтобы гарантировать, что любое загрязнение, которое может протекать в соседнюю чистую комнату. После того, как меры изоляции будут установлены различные необходимые услуги государственного обслуживания, такие как электричество, вода, газ, вакуум, сжатые воздушные и сточные трубопроводы. Внимание должно быть уделено контролю и изоляции дыма и мусора, генерируемого операцией, максимально возможным, чтобы избежать непреднамеренного распространения в окружающую чистую комнату. Это также должно способствовать эффективной очистке перед удалением барьеры изоляции. После того, как общественные услуги соответствуют требованиям использования, вся зона изоляции должна быть очищена и дезактивана в соответствии с предписанными процедурами очистки. Все поверхности, в том числе все стены, оборудование (неподвижное и подвижное) и полы, должны быть очищены от пылесоса, уничтожены и вытирают, с особым вниманием уделяется уборщикам за охранниками оборудования и под оборудованием.
4. Предварительный тест производительности оборудования может проводиться на основе фактических условий чистой комнаты и установленного оборудования, но последующие приемные испытания должны проводиться, когда условия чистой среды полностью выполнены. В зависимости от условий на площадке установки вы можете тщательно демонтировать стену изоляции; Если чистое подача воздуха была выключена, перезапустите его; Время для этой стадии работы должно быть тщательно выбрано, чтобы минимизировать вмешательство в обычную работу чистой комнаты. В настоящее время может потребоваться измерить, соответствует ли концентрация воздушных частиц указанные требования.
5. Очистка и подготовка внутренних дел оборудования и ключевых камер процессов должны проводиться в нормальных условиях чистой комнаты. Все внутренние камеры и все поверхности, которые вступают в контакт с продуктом или участвуют в транспортировке продукта, должны быть уничтожены до требуемого уровня чистоты. Последовательность очистки оборудования должна быть сверху вниз. Если частицы разбросаны, более крупные частицы падают на дно оборудования или землю из -за тяжести. Очистите внешнюю поверхность оборудования сверху вниз. При необходимости обнаружение поверхностных частиц должно проводиться в областях, где требования к продукту или процессу производства имеют решающее значение.
6. Ввиду характеристик чистых комнат, особенно большой площади, высокой инвестиции, высокой добычи и очень строгих требований к чистоте высокотехнологичных чистых комнат, установка оборудования для производственного процесса на этом типе чистой фабрики больше похожа на это обычных чистых комнат. С этой целью, национальный стандартный «Код для чистой фабрики и принятие качества», выпущенный в 2015 году, сделал некоторые положения для установки производственного процесса на чистых заводах, в основном, включая следующие.
①. Чтобы предотвратить загрязнение или даже повреждение чистой комнаты, которая подверглась «пустому» принятию во время процесса установки производственного процесса, процесс установки оборудования не должен иметь чрезмерную вибрацию или наклон и не должен быть разделен и загрязнять оборудование поверхности.
②. Чтобы сделать установку оборудования для производственного процесса в чистую комнату упорядочено и без или с меньшим количеством сидения, и следовать системе управления чистым производством в чистой мастерской, убедитесь, что процесс установки производственного оборудования защищен в соответствии с различными » Готовые изделия «и« полуфабрикаты », принятые в« пустом состоянии », материалах, машинах и т. Д., Которые должны использоваться в процессе установки, не должны испускаться или могут производить (в том числе в нормальной работе чистой комнаты на долгое время время) загрязняющие вещества, которые вредно для произведенных продуктов. Чистые материалы, которые не содержат пыли, не содержат ржавчины, без жира и не производят пыль во время использования.
③. Поверхность отделки здания должна быть защищена чистыми, без пылью тарелки, пленок и других материалов; Оборудование для оборудования должна быть сделана в соответствии с требованиями технического документа проектирования или оборудования. Если нет никаких требований, следует использовать пластины из нержавеющей стали или пластиковые пластины. Профили из углеродистой стали, используемые для независимых фундаментов и армии пола, должны быть обработаны антикоррозией, а поверхность должна быть плоской и гладкой; Эластичные герметизирующие материалы, используемые для хвоста.
④. Материалы должны быть отмечены ингредиентами, сортами, датой производства, периодом достоверности хранения, инструкциями метода строительства и сертификатами квалификации продукта. Механизм и инструменты, используемые в чистых комнатах, не должны перемещаться в нечистые комнаты для использования. Машины и инструменты не должны перемещаться в чистую комнату для использования. Машины и инструменты, используемые в чистой области, должны гарантировать, что открытые части машины не производят пыль и не принимают меры, чтобы предотвратить загрязнение пыли окружающей среды. Обычно используемые машины и инструменты должны быть очищены в воздухе перед перемещением в чистую зону. должны соответствовать требованиям быть без масла, без грязи, без пыли и без ржавчины, и следует перемещать после прохождения проверки и прикрепить знак «чистая» или «чистая область».
⑤. Производственное оборудование в чистой комнате должно быть установлено на «конкретных этажах», таких как поднятые полы. Оборудование, как правило, должно быть установлено на нижнем техническом мезонине или на цементной пористой пластине; Мероприятия, которые необходимо демонтировать, чтобы установить основу в структуре пола после того, как ее разрезают с помощью ручной электрической пилы, должны быть усилены, а его несущая грузоподъемность не должна быть ниже исходной грузоподъемности. Когда используется независимая основа стальной каркасной структуры, она должна быть изготовлена из оцинкованного материала или нержавеющей стали, а открытая поверхность должна быть плоской и гладкой.
⑥. Когда процесс установки производственного процесса оборудования в чистой комнате требуют отверстия в настенных панелях, подвесных потолках и поднятых полах, бурение не должно разделить или загрязнять поверхности стеновых панелей и подвесных потолочных панелей, которые необходимо сохранить. После открытия поднятого пола, когда фундамент не может быть установлен вовремя, должны быть установлены охраны и опасные знаки; После установки производственного оборудования зазор вокруг отверстия должен быть запечатан, а оборудование и герметизирующие компоненты должны быть в гибком контакте, а соединение между компонентом герметизации и настенной пластиной должна быть плотной и твердой; Уплотняющая поверхность на одной стороне рабочей комнаты должна быть плоской и гладкой.
Время публикации: сентябрь-06-2023