ISO 14644-5 требует, чтобы установка стационарного оборудования в чистых помещениях основывалась на конструкции и функциях чистого помещения. Следующие подробности будут представлены ниже.
1. Метод установки оборудования. Идеальный метод — закрыть чистое помещение на время установки оборудования и иметь дверь, которая может соответствовать углу обзора оборудования, или оставить канал на панели, чтобы новое оборудование могло проходить и входить в чистом виде. Чтобы предотвратить загрязнение чистого помещения вблизи периода установки, следует принять защитные меры, чтобы гарантировать, что чистое помещение по-прежнему соответствует требованиям чистоты и необходимым последующим работам.
2. Если работы в чистом помещении не могут быть остановлены в течение каждого периода монтажа или имеются конструкции, которые необходимо демонтировать, действующее чистое помещение должно быть эффективно изолировано от рабочей зоны: можно использовать временные изолирующие стены или перегородки. Чтобы не мешать монтажным работам, вокруг оборудования должно быть достаточно места. Если позволяют условия, доступ в зону изоляции может осуществляться через служебные каналы или другие некритические зоны: если это невозможно, следует принять меры по минимизации воздействия загрязнения, вызванного монтажными работами. В зоне изоляции должно поддерживаться равное или отрицательное давление. Подача чистого воздуха должна быть отключена в высотной зоне, чтобы избежать положительного давления на окружающие чистые помещения. Если доступ в зону изоляции осуществляется только через соседнее чистое помещение, для удаления грязи с обуви следует использовать липкие подушечки.
3. После входа в высотную зону можно использовать одноразовые ботинки или бахилы и цельную рабочую одежду, чтобы не загрязнить чистую одежду. Эти одноразовые предметы следует снять перед выходом из карантинной зоны. Должны быть разработаны методы мониторинга территории вокруг зоны изоляции в процессе установки оборудования и должна быть определена частота мониторинга, чтобы обеспечить обнаружение любого загрязнения, которое может просочиться в соседнее чистое помещение. После принятия мер по изоляции можно будет установить различные необходимые объекты коммунального обслуживания, такие как трубопроводы электричества, воды, газа, вакуума, сжатого воздуха и сточных вод. Следует уделять внимание контролю и изоляции дыма и мусора, образующихся в ходе работы, насколько это возможно, чтобы избежать непреднамеренного распространения в окружающее чистое помещение. Это также должно способствовать эффективной очистке перед снятием изолирующего барьера. После того как объекты общественного обслуживания будут соответствовать требованиям использования, вся зона изоляции должна быть очищена и обеззаражена в соответствии с установленными процедурами очистки. Все поверхности, включая все стены, оборудование (стационарное и подвижное) и полы, следует очищать пылесосом, протирать и мыть шваброй, уделяя особое внимание уборке зон за ограждениями оборудования и под оборудованием.
4. Предварительные испытания производительности оборудования могут проводиться на основе реальных условий чистого помещения и установленного оборудования, но последующие приемочные испытания должны проводиться при полном соблюдении условий чистой среды. В зависимости от условий на месте установки можно приступить к аккуратному демонтажу изоляционной стены; если подача чистого воздуха была отключена, перезапустите ее; время для этого этапа работ следует выбирать тщательно, чтобы свести к минимуму вмешательство в нормальную работу чистого помещения. В это время может возникнуть необходимость измерить, соответствует ли концентрация частиц в воздухе указанным требованиям.
5. Очистку и подготовку внутренней части оборудования и основных технологических камер следует проводить в нормальных условиях чистого помещения. Все внутренние камеры и все поверхности, контактирующие с продуктом или участвующие в транспортировке продукта, должны быть протерты до необходимой степени чистоты. Последовательность очистки оборудования должна быть сверху вниз. Если частицы разбросаны, более крупные частицы упадут на дно оборудования или на землю под действием силы тяжести. Очистите внешнюю поверхность оборудования сверху вниз. При необходимости обнаружение поверхностных частиц следует проводить в зонах, где требования к продукту или производственному процессу имеют решающее значение.
6. Учитывая характеристики чистых помещений, особенно большую площадь, высокие инвестиции, высокую производительность и очень строгие требования к чистоте высокотехнологичных чистых помещений, установка производственного технологического оборудования на чистом заводе этого типа больше похожа на обычных чистых помещений. С этой целью национальный стандарт «Кодекс строительства чистых предприятий и приемки качества», выпущенный в 2015 году, содержит некоторые положения по установке производственного технологического оборудования на чистых заводах, в основном включая следующие.
①. Во избежание загрязнения или даже повреждения чистого помещения, прошедшего «пустую» приемку в процессе монтажа производственного технологического оборудования, процесс установки оборудования не должен сопровождаться чрезмерной вибрацией или наклоном, а также не должен разделяться и загрязнять оборудование. поверхности.
②. Чтобы обеспечить порядок установки производственного оборудования в чистом помещении, без или с меньшим количеством сидений, а также следовать системе управления чистым производством в чистом цехе, убедитесь, что процесс установки производственного оборудования защищен в соответствии с различными требованиями. готовая продукция» и «полуфабрикаты», принимаемые в «пустом состоянии», материалы, машины и т.п., которые должны быть использованы в процессе монтажа, не должны выделять или могут выделять (в том числе при нормальной эксплуатации чистого помещения в течение длительного времени) время) загрязняющие вещества, вредные для производимой продукции. Следует использовать чистые материалы, не содержащие пыли, ржавчины, жира и не образующие пыли во время использования.
③. Поверхность отделки здания в чистом помещении должна быть защищена чистыми, обеспыленными плитами, пленками и другими материалами; Опорная пластина оборудования должна быть изготовлена в соответствии с требованиями проекта или технической документации на оборудование. Если нет требований, следует использовать пластины из нержавеющей стали или пластиковые пластины. Профили из углеродистой стали, используемые для независимых фундаментов и усиления перекрытий, должны быть обработаны антикоррозийными средствами, а поверхность должна быть ровной и гладкой; эластичные уплотнительные материалы, используемые для уплотнения.
④. На материалах должны быть указаны состав, сорта, дата изготовления, срок годности хранения, инструкции по технологии изготовления и сертификаты квалификации продукции. Машины и инструменты, используемые в чистых помещениях, нельзя перемещать для использования в нечистые помещения. Машины и инструменты нельзя перемещать в чистое помещение для использования. Машины и инструменты, используемые в чистой зоне, должны гарантировать, что открытые части машины не производят пыль, или принять меры для предотвращения загрязнения окружающей среды пылью. Часто используемые машины и инструменты следует очищать в воздушном шлюзе перед перемещением в чистую зону. , должен соответствовать требованиям отсутствия масла, грязи, пыли и ржавчины и должен быть перемещен после прохождения проверки и прикрепления знака «Чисто» или «Только чистая зона».
⑤. Производственное оборудование в чистой комнате должно быть установлено на «определенных этажах», например, на фальшполах. Фундамент оборудования обычно следует закладывать на нижнем техническом антресольном этаже или на пористой цементной плите; мероприятия, которые необходимо демонтировать для устройства фундамента. Конструкция пола после распила ручной электропилой должна быть усилена, а его несущая способность не должна быть ниже первоначальной несущей способности. При использовании независимого фундамента стальной каркасной конструкции он должен быть изготовлен из оцинкованного материала или нержавеющей стали, а наружная поверхность должна быть ровной и гладкой.
⑥. Когда процесс установки производственного оборудования в чистом помещении требует открытия отверстий в стеновых панелях, подвесных потолках и фальшполах, операции сверления не должны разделять или загрязнять поверхности стеновых панелей и панелей подвесного потолка, которые необходимо сохранить. После открытия фальшпола, когда фундамент не может быть установлен вовремя, следует установить защитные ограждения и знаки опасности; после установки производственного оборудования зазор вокруг отверстия должен быть герметизирован, оборудование и уплотнительные компоненты должны находиться в гибком контакте, а соединение между герметизирующим компонентом и настенной пластиной должно быть плотным и прочным; уплотнительная поверхность на одной стороне рабочего помещения должна быть плоской и гладкой.
Время публикации: 6 сентября 2023 г.