Установка процесса оборудования в чистую комнату должна основываться на проектировании и функции чистой комнаты. Следующие детали будут введены.
1. Метод установки оборудования: Идеальный метод - закрыть чистую комнату в течение периода установки оборудования и иметь дверь, которая может соответствовать углу обзора оборудования или зарезервировать проход, чтобы позволить новое оборудование проходить и входить в чистую комнату в порядке. Чтобы предотвратить загрязнение чистого места вблизи установки, следует предпринять защитные меры, чтобы обеспечить, чтобы чистая комната все еще соответствовала требованиям к чистоте и требуемой работе.
2. Если работа в чистом помещении не может быть остановлена в течение каждого периода установки, или если есть структуры, которые необходимо демонтировать, в рабочей зоне необходимо эффективно изолировать чистую комнату: можно использовать временные стены или разделы. Чтобы не препятствовать установке, вокруг оборудования должно быть достаточно места. Если условия позволяют, доступ к области изоляции может быть через каналы обслуживания или другие некритические области: если это невозможно, следует принимать меры, чтобы минимизировать воздействие загрязнения, вызванное установкой. Площадь изоляции должна поддерживать равное давление или отрицательное давление. Чистый подарок воздуха должен быть отрезан в высотной области, чтобы избежать положительного давления на окружающую чистую комнату. Если доступ к зоне изоляции проходит только через соседнюю чистую комнату, липкие прокладки следует использовать для удаления грязи на обуви.
3. После входа в область высокой высоты одноразовые ботинки или заглушки и цельному рабочей одежде можно использовать, чтобы избежать загрязнения чистой комнаты. Эти одноразовые предметы должны быть удалены до того, как покинуть зону карантина. Методы мониторинга площади вокруг зоны изоляции во время процесса установки оборудования должны быть разработаны, и следует определить частоту мониторинга, чтобы гарантировать, что любое загрязнение, которое может протекать в соседнюю чистую комнату. После того, как меры изоляции будут установлены, могут быть созданы различные требуемые услуги общественного обслуживания, такие как электричество, вода, газ, вакуум, сжатые воздушные и сточные трубопроводы, внимание следует обратить внимание на контроль и изоляцию дыма и мусора, полученного в результате операции в Как можно больше, чтобы избежать непреднамеренного распространения в окружающую чистую комнату. Это также должно способствовать эффективной очистке перед удалением барьеры изоляции. После того, как общественные услуги соответствуют требованиям использования, вся зона изоляции должна быть очищена и дезактивана в соответствии с предписанными процедурами очистки. Все поверхности, в том числе все стены, оборудование (неподвижное и подвижное) и полы, должны быть очищены от пылесоса, уничтожены и вытирают, с особым вниманием уделяется уборщикам за охранниками оборудования и под оборудованием.
4. Предварительный тест производительности оборудования может проводиться на основе фактических условий чистой комнаты и установленного оборудования, но последующие приемные испытания должны проводиться, когда условия чистой среды полностью выполнены. В зависимости от условий на площадке установки вы можете тщательно демонтировать стену изоляции; Если чистое подача воздуха была выключена, перезапустите его; Время для этой фазы работы должно быть тщательно выбрано, чтобы минимизировать вмешательство в обычную работу чистой комнаты. В настоящее время может потребоваться измерить, соответствует ли концентрация воздушных частиц указанные требования.
5. Очистка и подготовка внутренних дел оборудования и ключевых камер процессов должны проводиться в нормальных условиях чистой комнаты. Все внутренние камеры и все поверхности, которые вступают в контакт с продуктом или участвуют в транспортировке продукта, должны быть уничтожены до требуемого уровня чистоты. Последовательность очистки оборудования должна быть сверху вниз. Если частицы разбросаны, более крупные частицы падают на дно оборудования или землю из -за тяжести. Очистите внешнюю поверхность оборудования сверху вниз. При необходимости обнаружение поверхностных частиц должно проводиться в областях, где требования к продукту или процессу производства имеют решающее значение.
6. Ввиду характеристик чистой комнаты, особенно большой площади, высокой инвестиции, высокой продукции и очень строгих требований к чистоте высокотехнологичной чистой комнаты, установка производственного процесса оборудования в этом типе чистой комнаты больше похожа на это обычной чистой комнаты. Там нет конкретных требований. С этой целью, выпущенный национальный стандартный «Код для строительства чистой комнаты и принятие качества», сделал некоторые условия для установки производственного процесса оборудования в чистую комнату, в основном, включая следующее.
A. Чтобы предотвратить загрязнение или даже повреждение чистой комнаты (площадь), которая подвергалась «пустому» принятию во время процесса установки производственного процесса оборудования, процесс установки оборудования не должен иметь чрезмерную вибрацию или наклон и не должен быть Разделенные и загрязняющие поверхности оборудования.
B. Чтобы сделать установку оборудования для производственного процесса в чистую комнату (область) и без или с меньшим сидением, и следовать системе управления чистым производством в чистой комнате, убедитесь, что процесс установки производственного оборудования защищен в соответствии с для различных «готовых продуктов» и «полуфабрикатов», принятых в «пустое состояние», материалы, машины и т. Д., Которые должны использоваться в процессе установки, не должны испускаться или могут производить (в том числе в нормальной работе чистой место долгое время) загрязняющие вещества, которые вредны для произведенных продуктов. Следует использовать материалы для чистых комнат, которые не содержат пыли, без ржавчины, без жира и не производят пыль во время использования.
C. Поверхность отделки здания в чистой комнате (область) должна быть защищена чистыми панелями, пленками и другими материалами; Оборудование для оборудования должна быть сделана в соответствии с требованиями технического документа проектирования или оборудования. Если нет никаких требований, следует использовать пластины из нержавеющей стали или пластиковые пластины. Профили из углеродистой стали, используемые для независимых фундаментов и армии пола, должны быть обработаны антикоррозией, а поверхность должна быть плоской и гладкой; Эластичные уплотнительные материалы должны использоваться для Caulking.
D. Материалы должны быть отмечены ингредиентами, сортами, датой производства, периодом достоверности хранения, инструкциями метода строительства и сертификатами продукта. Механизм и инструменты, используемые в чистой комнате (области), не должны перемещаться в нецелую комнату (области) для использования. Машины и инструменты не должны перемещаться в чистую комнату (зону) для использования. Машины и инструменты, используемые в чистой области, должны гарантировать, что открытые части машины не производят пыль и не принимают меры, чтобы предотвратить загрязнение пыли окружающей среды. Обычно используемые машины и инструменты должны быть очищены в воздухе перед перемещением в чистую зону и должны соответствовать требованиям быть без масла, без грязи, без пыли и без ржавчины, и должны перемещаться после прохождения проверки и прикрепления Знак "чистой" или "только чистой зоны".
E. Производственное оборудование в чистой комнате (зона) должно быть установлено на «конкретных этажах», таких как поднятые полы. Оборудование, как правило, должно быть установлено на нижнем техническом мезонине или на цементной пористой пластине; действия, которые должны быть демонтированы для установки фундамента. Структура пола после разрезания с помощью ручной электрической пилы должна быть усилена, а его грузоподъемность не должна быть ниже исходной грузоподъемности. Когда используется независимая основа стальной каркасной структуры, она должна быть изготовлена из оцинкованного материала или нержавеющей стали, а открытая поверхность должна быть плоской и гладкой.
F. Когда процесс установки производственного технологического оборудования в чистой комнате (зона) требует отверстий в стеновых панелях, подвесных потолках и поднятых полах, операции бурения не должны разделять или загрязнять поверхности стеновых панелей и подвесных потолочных панелей, которые должны быть сохраняется. После открытия поднятого пола, когда фундамент не может быть установлен вовремя, должны быть установлены охраны и опасные знаки; После установки производственного оборудования зазор вокруг отверстия должен быть запечатан, а оборудование и герметизирующие компоненты должны быть в гибком контакте, а соединение между компонентом герметизации и настенной панелью должна быть плотной и твердой; Уплотняющая поверхность на одной стороне рабочей комнаты должна быть плоской и гладкой.
Время поста: 16-2024