Установка технологического оборудования в чистом помещении должна основываться на конструкции и функциях чистого помещения. Будут представлены следующие подробности.
1. Метод установки оборудования. Идеальный метод — закрыть чистое помещение на время установки оборудования и установить дверь, которая будет соответствовать углу обзора оборудования, или зарезервировать проход, позволяющий новому оборудованию проходить через него и входить в чистое помещение в порядке. Чтобы предотвратить загрязнение чистого помещения в период установки, следует принять защитные меры, чтобы гарантировать, что чистое помещение по-прежнему соответствует требованиям чистоты и необходимым последующим работам.
2. Если работы в чистом помещении невозможно остановить на каждый период монтажа или имеются конструкции, которые необходимо демонтировать, действующее чистое помещение должно быть эффективно изолировано от рабочей зоны: можно использовать временные изолирующие стены или перегородки. Чтобы не мешать монтажным работам, вокруг оборудования должно быть достаточно места. Если позволяют условия, доступ в зону изоляции может осуществляться через служебные каналы или другие некритические зоны: если это невозможно, следует принять меры по минимизации воздействия загрязнения, вызванного монтажными работами. В зоне изоляции должно поддерживаться равное или отрицательное давление. Подача чистого воздуха должна быть отключена в высотной зоне, чтобы избежать положительного давления на окружающее чистое помещение. Если доступ в зону изоляции осуществляется только через соседнее чистое помещение, следует использовать липкие подушечки для удаления грязи с обуви.
3. После входа в высотную зону можно использовать одноразовые ботинки или бахилы и цельную рабочую одежду, чтобы избежать загрязнения чистого помещения. Эти одноразовые предметы следует снять перед выходом из карантинной зоны. Должны быть разработаны методы мониторинга территории вокруг зоны изоляции в процессе установки оборудования и должна быть определена частота мониторинга, чтобы обеспечить обнаружение любого загрязнения, которое может просочиться в соседнее чистое помещение. После принятия мер изоляции можно установить различные необходимые объекты коммунального обслуживания, такие как трубопроводы электричества, воды, газа, вакуума, сжатого воздуха и сточных вод. Следует обратить внимание на контроль и изоляцию дыма и мусора, образующихся в результате эксплуатации, поскольку насколько это возможно, чтобы избежать непреднамеренного распространения в окружающее чистое помещение. Это также должно способствовать эффективной очистке перед снятием изолирующего барьера. После того как объекты общественного обслуживания будут соответствовать требованиям использования, вся зона изоляции должна быть очищена и обеззаражена в соответствии с установленными процедурами очистки. Все поверхности, включая все стены, оборудование (стационарное и подвижное) и полы, следует очищать пылесосом, протирать и мыть шваброй, уделяя особое внимание уборке зон за ограждениями оборудования и под оборудованием.
4. Предварительные испытания производительности оборудования могут проводиться на основе реальных условий чистого помещения и установленного оборудования, но последующие приемочные испытания должны проводиться при полном соблюдении условий чистой среды. В зависимости от условий на месте установки можно приступить к аккуратному демонтажу изоляционной стены; если подача чистого воздуха была отключена, перезапустите ее; время для этого этапа работы должно быть тщательно выбрано, чтобы свести к минимуму вмешательство в нормальную работу чистого помещения. В это время может возникнуть необходимость измерить, соответствует ли концентрация частиц в воздухе указанным требованиям.
5. Очистку и подготовку внутренней части оборудования и основных технологических камер следует проводить в нормальных условиях чистого помещения. Все внутренние камеры и все поверхности, контактирующие с продуктом или участвующие в транспортировке продукта, должны быть протерты до необходимой степени чистоты. Последовательность очистки оборудования должна быть сверху вниз. Если частицы разбросаны, более крупные частицы упадут на дно оборудования или на землю под действием силы тяжести. Очистите внешнюю поверхность оборудования сверху вниз. При необходимости обнаружение поверхностных частиц следует проводить в зонах, где требования к продукту или производственному процессу имеют решающее значение.
6. Учитывая характеристики чистого помещения, особенно большую площадь, большие инвестиции, высокую производительность и очень строгие требования к чистоте высокотехнологичного чистого помещения, установка производственного технологического оборудования в этом типе чистого помещения больше похожа на это. обычной чистой комнаты. Особых требований нет. С этой целью в опубликованном национальном стандарте «Правила строительства чистых помещений и приемке качества» предусмотрены некоторые положения по установке производственного технологического оборудования в чистых помещениях, в основном включая следующие.
А. Во избежание загрязнения или даже повреждения чистого помещения (участка), прошедшего «пустую» приемку в процессе монтажа производственного технологического оборудования, процесс установки оборудования не должен сопровождаться чрезмерной вибрацией или наклоном, а также не должен разделенные и загрязняющие поверхности оборудования.
B. Чтобы обеспечить порядок установки производственного технологического оборудования в чистом помещении (зоне), без или с меньшим количеством сидячих мест, а также соблюдать систему управления чистым производством в чистом помещении, убедитесь, что процесс установки производственного оборудования защищен в соответствии с к различным «готовым изделиям» и «полуфабрикатам», принимаемым в «пустом состоянии», материалы, машины и т.п., которые должны использоваться в процессе установки, не должны выделять или могут производить (в том числе при нормальной эксплуатации чистой помещении в течение длительного времени) загрязняющие вещества, которые вредны к производимой продукции. Следует использовать материалы для чистых помещений, не содержащие пыли, ржавчины, жира и не образующие пыли во время использования.
C. Поверхность отделки здания в чистом помещении (зоне) должна быть защищена панелями, пленками и другими материалами для чистых помещений; Опорная пластина оборудования должна быть изготовлена в соответствии с требованиями проекта или технической документации на оборудование. Если нет требований, следует использовать пластины из нержавеющей стали или пластиковые пластины. Профили из углеродистой стали, используемые для независимых фундаментов и усиления перекрытий, должны быть обработаны антикоррозийными средствами, а поверхность должна быть ровной и гладкой; Для уплотнения следует использовать эластичные уплотнительные материалы.
D. На материалах должны быть указаны состав, сорта, дата изготовления, срок годности хранения, инструкции по методу изготовления и сертификаты на продукцию. Машины и инструменты, используемые в чистом помещении (зонах), нельзя перемещать для использования в нечистые помещения (зоны). Машины и инструменты нельзя перемещать в чистое помещение (зону) для использования. Машины и инструменты, используемые в чистой зоне, должны гарантировать, что открытые части машины не производят пыль, или принять меры для предотвращения загрязнения окружающей среды пылью. Обычно используемые машины и инструменты должны быть очищены в воздушном шлюзе перед перемещением в чистую зону и должны соответствовать требованиям отсутствия масла, грязи, пыли и ржавчины, а также должны быть перемещены после прохождения проверки и крепления. знак «Чисто» или «Только чистая зона».
E. Производственное оборудование в чистых помещениях (зонах) должно быть установлено на «конкретных этажах», например, на фальшполах. Фундамент оборудования обычно следует закладывать на нижнем техническом антресольном этаже или на пористой цементной плите; мероприятия, которые необходимо демонтировать для установки фундамента. Конструкция пола после распила ручной электропилой должна быть усилена, а его несущая способность не должна быть ниже первоначальной несущей способности. При использовании независимого фундамента стальной каркасной конструкции он должен быть изготовлен из оцинкованного материала или нержавеющей стали, а наружная поверхность должна быть ровной и гладкой.
F. Когда процесс установки производственного оборудования в чистом помещении (зоне) требует открытия отверстий в стеновых панелях, подвесных потолках и фальшполах, операции сверления не должны разделять или загрязнять поверхности стеновых панелей и панелей подвесного потолка, которые необходимо сохранено. После открытия фальшпола, когда фундамент не может быть установлен вовремя, следует установить защитные ограждения и знаки опасности; после установки производственного оборудования зазор вокруг отверстия должен быть герметизирован, оборудование и уплотнительные компоненты должны находиться в гибком контакте, а соединение между герметизирующим компонентом и стеновой панелью должно быть плотным и прочным; уплотнительная поверхность на одной стороне рабочего помещения должна быть плоской и гладкой.
Время публикации: 16 января 2024 г.