Монтаж технологического оборудования в чистом помещении должен осуществляться с учётом конструкции и назначения помещения. Ниже представлена следующая информация.
1. Метод установки оборудования: Идеальным методом является закрытие чистой комнаты на время установки оборудования и наличие двери, которая может соответствовать углу обзора оборудования или резервирование прохода для пропуска нового оборудования и входа в чистую комнату с целью предотвращения загрязнения чистой комнаты в период ее установки; следует принять защитные меры, чтобы гарантировать, что чистая комната по-прежнему будет соответствовать требованиям к чистоте и необходимым последующим работам.
2. Если работа в чистом помещении не может быть остановлена во время каждого периода монтажа или если есть конструкции, которые необходимо демонтировать, работающее чистое помещение должно быть эффективно изолировано от рабочей зоны: можно использовать временные изоляционные стены или перегородки. Чтобы не мешать монтажным работам, вокруг оборудования должно быть достаточно места. Если позволяют условия, доступ в изолированную зону может осуществляться через служебные каналы или другие некритические зоны: если это невозможно, следует принять меры для минимизации воздействия загрязнений, вызванных монтажными работами. В изолированной зоне должно поддерживаться постоянное или отрицательное давление. Подача чистого воздуха должна быть прекращена в высотной зоне, чтобы избежать положительного давления в окружающем чистом помещении. Если доступ в изолированную зону осуществляется только через соседнее чистое помещение, следует использовать липкие салфетки для удаления грязи, переносимой обувью.
3. После входа в высотную зону можно использовать одноразовые ботинки или галоши и цельную рабочую одежду, чтобы избежать загрязнения чистой комнаты. Эти одноразовые предметы следует снять перед тем, как покинуть карантинную зону. Должны быть разработаны методы мониторинга зоны вокруг зоны изоляции во время процесса установки оборудования, а также должна быть определена частота мониторинга, чтобы гарантировать, что любое загрязнение, которое может просочиться в соседнюю чистую комнату, будет обнаружено. После того, как меры изоляции будут приняты, могут быть установлены различные необходимые коммунальные службы, такие как электроснабжение, водоснабжение, газоснабжение, вакуум, сжатый воздух и канализация, следует уделять внимание контролю и изоляции дыма и мусора, образующихся в результате операции, насколько это возможно, чтобы избежать непреднамеренного распространения в окружающую чистую комнату. Это также должно способствовать эффективной уборке перед снятием изоляционного барьера. После того, как коммунальные службы будут соответствовать требованиям использования, вся изолированная зона должна быть очищена и дезактивирована в соответствии с предписанными процедурами очистки. Все поверхности, включая стены, оборудование (стационарное и передвижное) и полы, следует очищать пылесосом, протирать и мыть шваброй, уделяя особое внимание уборке участков за защитными ограждениями оборудования и под оборудованием.
4. Предварительное испытание работоспособности оборудования может быть проведено с учётом фактических условий чистого помещения и установленного оборудования, однако последующие приёмочные испытания следует проводить после полного соответствия требованиям чистой среды. В зависимости от условий на месте установки можно начать осторожный демонтаж изоляционной стены; если подача чистого воздуха была отключена, возобновить её; время выполнения этого этапа работ следует тщательно выбирать, чтобы свести к минимуму помехи нормальной работе чистого помещения. В это время может потребоваться измерение концентрации частиц в воздухе, соответствующей заданным требованиям.
5. Очистка и подготовка внутренних поверхностей оборудования и основных технологических камер должны проводиться в условиях обычной чистой комнаты. Все внутренние камеры и все поверхности, контактирующие с продуктом или участвующие в его транспортировке, должны быть протерты до требуемого уровня чистоты. Последовательность очистки оборудования должна осуществляться сверху вниз. При рассредоточении частиц более крупные частицы будут падать на дно оборудования или на землю под действием силы тяжести. Очистку наружных поверхностей оборудования следует проводить сверху вниз. При необходимости следует проводить обнаружение поверхностных частиц в зонах, где требования к продукту или производственному процессу имеют решающее значение.
6. Учитывая особенности чистых помещений, особенно большую площадь, высокие инвестиции, высокую производительность и очень строгие требования к чистоте, предъявляемые к высокотехнологичным чистым помещениям, монтаж производственного оборудования в таких чистых помещениях во многом схож с монтажом в обычных чистых помещениях. Специальных требований нет. В связи с этим был выпущен национальный стандарт «Нормы и правила строительства и приемки чистых помещений», который содержит ряд положений по монтажу производственного оборудования в чистых помещениях, в частности, следующие.
А. Чтобы предотвратить загрязнение или даже повреждение чистой комнаты (зоны), прошедшей «пустую» приемку во время процесса установки оборудования производственного процесса, процесс установки оборудования не должен сопровождаться чрезмерной вибрацией или наклоном, а также не должен разделять и загрязнять поверхности оборудования.
B. Для обеспечения упорядоченного монтажа производственного оборудования в чистом помещении (зоне) с минимальным или длительным пребыванием людей, а также для соблюдения системы управления чистым производством в чистом помещении, необходимо обеспечить безопасность процесса монтажа производственного оборудования в соответствии с различными «готовыми изделиями» и «полуфабрикатами», принимаемыми «в нерабочем состоянии», а также использовать материалы, машины и т.д., используемые в процессе монтажа, без выделения или образования (в том числе при нормальной эксплуатации чистого помещения в течение длительного времени) загрязняющих веществ, вредных для производимой продукции. Следует использовать материалы для чистых помещений, не содержащие пыли, ржавчины, жира и не образующие пыли при использовании.
C. Поверхность отделки здания чистого помещения (зоны) должна быть защищена панелями, пленками и другими материалами, предназначенными для чистых помещений; подложка под оборудование должна быть изготовлена в соответствии с требованиями проекта или технической документации на оборудование. При отсутствии требований следует использовать листы из нержавеющей стали или пластика. Профили из углеродистой стали, используемые для независимых фундаментов и арматуры перекрытий, должны быть обработаны антикоррозионным составом, поверхность должна быть ровной и гладкой; для заделки швов следует использовать эластичные герметики.
D. Материалы должны быть маркированы с указанием ингредиентов, разновидностей, даты изготовления, срока годности хранения, инструкций по методу изготовления и сертификатов на продукцию. Оборудование и инструменты, используемые в чистых помещениях (зонах), нельзя перемещать в нечистые помещения (зоны) для использования. Оборудование и инструменты нельзя перемещать в чистую комнату (зону) для использования. Оборудование и инструменты, используемые в чистой зоне, должны обеспечивать отсутствие пыли на открытых частях и принимать меры для предотвращения загрязнения окружающей среды пылью. Оборудование и инструменты, используемые в большинстве случаев, следует очищать в шлюзе перед перемещением в чистую зону и они должны соответствовать требованиям по отсутствию масла, грязи, пыли и ржавчины. Перемещение должно осуществляться после прохождения проверки и нанесения знака «Чисто» или «Только для чистой зоны».
E. Производственное оборудование в чистой комнате (зоне) должно быть установлено на «специальных полах», например, на фальшполах. Фундамент оборудования, как правило, устанавливается на нижнем техническом антресольном этаже или на цементной пористой плите; для установки фундамента необходимо демонтировать все элементы конструкции. Конструкция пола после резки ручной электропилой должна быть усилена, а его несущая способность не должна быть ниже исходной. При использовании независимого фундамента из стального каркаса он должен быть изготовлен из оцинкованного материала или нержавеющей стали, а открытая поверхность должна быть ровной и гладкой.
F. При монтаже производственного оборудования в чистом помещении (зоне) с необходимостью проделывания отверстий в стеновых панелях, подвесных потолках и фальшполах, сверление не должно нарушать и не загрязнять поверхности стеновых панелей и подвесных потолков, которые необходимо сохранить. После проделывания отверстий в фальшполе, если фундамент не может быть установлен в установленные сроки, необходимо установить защитные ограждения и предупреждающие знаки; после установки производственного оборудования зазор вокруг отверстия должен быть герметизирован, оборудование и уплотнительные элементы должны находиться в подвижном контакте, а соединение уплотнительного элемента со стеновой панелью должно быть плотным и прочным; уплотнительная поверхность с одной стороны рабочего помещения должна быть ровной и гладкой.
Время публикации: 16 января 2024 г.