Монтаж технологического оборудования в чистом помещении должен основываться на конструкции и функциях этого помещения. Далее будут рассмотрены соответствующие детали.
1. Способ установки оборудования: Идеальный способ — закрыть чистую комнату на время установки оборудования и установить дверь, обеспечивающую обзор оборудования, или предусмотреть проход для прохождения нового оборудования в чистую комнату, чтобы предотвратить загрязнение чистой комнаты в период установки. Необходимо принять защитные меры, чтобы чистая комната соответствовала требованиям чистоты и требованиям для последующих работ.
2. Если работы в чистом помещении нельзя остановить на время каждого периода монтажа, или если необходимо демонтировать конструкции, работающее чистое помещение должно быть эффективно изолировано от рабочей зоны: можно использовать временные изоляционные стены или перегородки. Чтобы не препятствовать монтажным работам, вокруг оборудования должно быть достаточно места. Если позволяют условия, доступ в зону изоляции может осуществляться через служебные каналы или другие некритические зоны; если это невозможно, следует принять меры для минимизации воздействия загрязнения, вызванного монтажными работами. В зоне изоляции должно поддерживаться равное или отрицательное давление. Подача чистого воздуха в высотной части помещения должна быть перекрыта, чтобы избежать избыточного давления в окружающем чистом помещении. Если доступ в зону изоляции возможен только через соседнее чистое помещение, следует использовать клейкие подушечки для удаления грязи, переносимой обувью.
3. После входа в высокогорную зону можно использовать одноразовые ботинки или бахилы и цельную рабочую одежду, чтобы избежать загрязнения чистой комнаты. Эти одноразовые предметы следует снять перед выходом из карантинной зоны. Необходимо разработать методы мониторинга зоны вокруг изоляционной зоны во время установки оборудования и определить частоту мониторинга, чтобы обеспечить обнаружение любых загрязнений, которые могут проникнуть в соседнюю чистую комнату. После установки изоляционных мер можно подготовить различные необходимые коммуникации, такие как электроснабжение, водоснабжение, газоснабжение, вакуумная система, системы сжатого воздуха и канализационные трубопроводы. Следует уделять внимание контролю и изоляции дыма и мусора, образующихся в ходе работ, чтобы избежать непреднамеренного распространения в окружающую чистую комнату. Также необходимо обеспечить эффективную очистку перед снятием изоляционного барьера. После того, как коммуникации будут соответствовать требованиям эксплуатации, вся изоляционная зона должна быть очищена и дезактивирована в соответствии с предписанными процедурами очистки. Все поверхности, включая стены, оборудование (стационарное и передвижное) и полы, следует пропылесосить, протереть и вымыть, уделяя особое внимание очистке участков за защитными кожухами оборудования и под ним.
4. Предварительная проверка работоспособности оборудования может проводиться с учетом фактических условий чистого помещения и установленного оборудования, однако последующие приемочные испытания следует проводить после полного обеспечения условий чистой среды. В зависимости от условий на месте установки можно приступить к аккуратному демонтажу изоляционной стены; если подача чистого воздуха была отключена, ее следует возобновить; время для этого этапа работ следует тщательно выбирать, чтобы минимизировать помехи нормальной работе чистого помещения. На этом этапе может потребоваться измерение того, соответствует ли концентрация взвешенных в воздухе частиц установленным требованиям.
5. Очистка и подготовка внутренних поверхностей оборудования и ключевых технологических камер должны проводиться в обычных условиях чистых помещений. Все внутренние камеры и все поверхности, контактирующие с продуктом или участвующие в его транспортировке, должны быть протерты до требуемого уровня чистоты. Очистка оборудования должна производиться сверху вниз. При разбрасывании частиц более крупные частицы будут оседать на дне оборудования или на полу под действием силы тяжести. Очистка внешней поверхности оборудования производится сверху вниз. При необходимости в зонах, где требования к продукту или производственному процессу имеют критическое значение, следует проводить обнаружение частиц на поверхности.
6. Учитывая характеристики чистых помещений, особенно их большую площадь, высокие инвестиции, высокую производительность и очень строгие требования к чистоте, предъявляемые к высокотехнологичным чистым помещениям, установка технологического оборудования в таких помещениях больше похожа на установку в обычных чистых помещениях. Специфических требований нет. В связи с этим в национальном стандарте «Кодекс строительства и приемки качества чистых помещений» были приняты некоторые положения, касающиеся установки технологического оборудования в чистых помещениях, в основном включающие следующее.
А. Во избежание загрязнения или даже повреждения чистого помещения (зоны), прошедшего «пустую» приемку, в процессе установки технологического оборудования, установка оборудования не должна сопровождаться чрезмерной вибрацией или наклоном, а также не должна приводить к повреждению и загрязнению поверхностей оборудования.
B. Для обеспечения упорядоченной и минимальной необходимости сидения при монтаже технологического оборудования в чистом помещении (зоне), а также для соблюдения системы управления чистым производством в чистом помещении, необходимо обеспечить защиту процесса монтажа оборудования в соответствии с различными типами «готовой продукции» и «полуфабрикатов», принимаемых в «пустом состоянии». Материалы, машины и т. д., используемые в процессе монтажа, не должны выделять или могут выделять (в том числе при длительной нормальной работе в чистом помещении) загрязняющие вещества, вредные для производимой продукции. Следует использовать материалы для чистых помещений, которые не содержат пыли, ржавчины, смазки и не образуют пыли во время эксплуатации.
C. Отделочные поверхности здания чистого помещения (зоны) должны быть защищены панелями, пленками и другими материалами, предназначенными для чистых помещений; опорная плита оборудования должна быть изготовлена в соответствии с требованиями проекта или технической документации на оборудование. При отсутствии требований следует использовать пластины из нержавеющей стали или пластика. Профили из углеродистой стали, используемые для независимых фундаментов и усиления перекрытий, должны быть обработаны антикоррозийным составом, а их поверхность должна быть ровной и гладкой; для герметизации следует использовать эластичные герметизирующие материалы.
D. Материалы должны быть маркированы с указанием состава, разновидностей, даты изготовления, срока годности, инструкций по способу изготовления и сертификатов на продукцию. Оборудование и инструменты, используемые в чистых помещениях (зонах), не должны перемещаться в нечистые помещения (зоны) для использования. Оборудование и инструменты, используемые в чистых зонах, должны обеспечивать отсутствие пыли на открытых частях оборудования или приниматься меры для предотвращения загрязнения окружающей среды пылью. Часто используемые машины и инструменты должны быть очищены в шлюзовой камере перед перемещением в чистую зону и должны соответствовать требованиям отсутствия масла, грязи, пыли и ржавчины, а также должны быть перемещены после прохождения проверки и размещения знака «Чисто» или «Только чистая зона».
Е. Технологическое оборудование в чистом помещении (зоне) необходимо устанавливать на «специальных этажах», таких как фальшполы. Фундамент оборудования, как правило, следует устанавливать на нижнем техническом мезонине или на цементной пористой плите; работы по демонтажу необходимо выполнить для установки фундамента. Конструкция пола после распила ручной электрической пилой должна быть усилена, а ее несущая способность не должна быть ниже первоначальной. При использовании независимого фундамента из стальной каркасной конструкции он должен быть изготовлен из оцинкованного материала или нержавеющей стали, а открытая поверхность должна быть ровной и гладкой.
F. При монтаже производственного оборудования в чистом помещении (зоне) с необходимостью сверления отверстий в стеновых панелях, подвесных потолках и фальшполах, сверление не должно повреждать или загрязнять поверхности стеновых и подвесных потолочных панелей, которые необходимо закрепить. После вскрытия фальшпола, если фундамент не может быть установлен вовремя, следует установить защитные ограждения и предупреждающие знаки; после установки производственного оборудования зазор вокруг отверстия должен быть герметизирован, оборудование и уплотнительные элементы должны находиться в гибком контакте, а соединение между уплотнительным элементом и стеновой панелью должно быть плотным и прочным; уплотнительная поверхность с одной стороны рабочего помещения должна быть ровной и гладкой.
Дата публикации: 16 января 2024 г.