Противопожарные средства являются важной частью чистого помещения. Их значение обусловлено не только высокой стоимостью технологического оборудования и строительных проектов, но и тем, что чистые помещения представляют собой относительно закрытые здания, а некоторые из них представляют собой цеха без окон. Узкие и извилистые проходы в чистых помещениях затрудняют эвакуацию персонала и обучение пожарной безопасности. Для обеспечения безопасности жизни и имущества людей при проектировании следует реализовать принцип противопожарной защиты «прежде всего профилактика, сочетание профилактики и пожара». Помимо эффективных мер противопожарной защиты при проектировании чистого помещения, необходимо также предусмотреть необходимые средства пожаротушения. Производственные характеристики чистых помещений:
(1) Существует множество прецизионного оборудования и приборов, а также используются различные легковоспламеняющиеся, взрывоопасные, коррозионные и токсичные газы и жидкости. Пожароопасность некоторых производственных процессов относится к категории C (например, окислительная диффузия, фотолитография, ионная имплантация, печать и упаковка и т. д.), а некоторых — к категории A (например, вытягивание монокристаллов, эпитаксия, химическое осаждение из газовой фазы и т. д.).
(2) Чистое помещение должно быть максимально герметичным. В случае возникновения пожара эвакуировать персонал и потушить пожар будет сложно.
(3) Стоимость строительства чистых помещений высока, а оборудование и приборы — дороги. В случае пожара экономические потери будут огромными.
Исходя из вышеперечисленных характеристик, к чистым помещениям предъявляются очень высокие требования к противопожарной защите. Помимо системы противопожарной защиты и водоснабжения, необходимо установить стационарные средства пожаротушения, а также тщательно определить особо ценное оборудование и приборы, находящиеся в чистых помещениях.
Время публикации: 11 апреля 2024 г.