Противопожарные средства являются важной частью чистых помещений. Их важность обусловлена не только высокой стоимостью технологического оборудования и строительных работ, но и тем, что чистые помещения представляют собой относительно закрытые здания, а некоторые даже являются цехами без окон. Узкие и извилистые проходы в чистых помещениях затрудняют эвакуацию персонала и обучение пожарной безопасности. Для обеспечения безопасности жизни и имущества людей при проектировании необходимо внедрять политику противопожарной защиты, основанную на принципе «профилактика прежде всего, сочетание профилактики и пожарной безопасности». Помимо эффективных мер противопожарной защиты, предусмотрены также необходимые средства пожаротушения. Характеристики чистых помещений:
(1) Используется много прецизионного оборудования и инструментов, а также различные легковоспламеняющиеся, взрывоопасные, коррозионные и токсичные газы и жидкости. Пожарная опасность некоторых производственных деталей относится к категории C (например, диффузионное окисление, фотолитография, ионная имплантация, печать и упаковка и т. д.), а некоторых — к категории A (например, вытягивание монокристаллов, эпитаксия, химическое осаждение из паровой фазы и т. д.).
(2) Чистое помещение очень герметично. В случае возникновения пожара будет сложно эвакуировать персонал и потушить огонь.
(3) Стоимость строительства чистых помещений высока, а оборудование и приборы дороги. В случае пожара экономические потери будут огромными.
Исходя из вышеизложенных характеристик, к чистым помещениям предъявляются очень высокие требования к противопожарной защите. Помимо системы противопожарной защиты и водоснабжения, необходимо также установить стационарные средства пожаротушения, при этом особенно тщательно следует выбирать ценное оборудование и приборы для чистых помещений.
Дата публикации: 11 апреля 2024 г.