Пожарная защита - важная часть чистой комнаты. Его важность не только потому, что его процессовое оборудование и строительные проекты стоят дорого, но и потому, что чистые комнаты являются относительно закрытыми зданиями, а некоторые - даже без окон. Чистые проходы комнаты являются узкими и извилистыми, что затрудняет эвакуацию персонала и преподавать огонь. Чтобы обеспечить безопасность жизни людей и имущества людей, политика пожарной защиты «сначала профилактика, сочетание профилактики и пожара» должна быть реализована в проекте. В дополнение к принятию эффективных мер по предотвращению пожаров при проектировании чистой комнаты, кроме того, также создаются необходимые пожарные сооружения. Производственные характеристики чистых комнат:
(1) Существует много точных оборудования и инструментов, и используются различные легковоспламеняющиеся, взрывные, коррозионные и токсичные газы и жидкости. Пожарная опасность некоторых производственных частей относится к категории C (такой как диффузия окисления, фотолитография, ионная имплантация, печать и упаковка и т. Д.), А некоторые принадлежат к категории А (например, затягивание монокристаллов, эпитаксию, химическое осаждение пара и т. Д. .).
(2) Чистая комната очень герметичная. После того, как огонь вспыхнет, будет трудно эвакуировать персонал и потушить огонь.
(3) Стоимость строительства чистой комнаты высока, а оборудование и приборы дороги. После того, как пожар вспыхнет, экономические потери будут огромными.
Исходя из вышеупомянутых характеристик, чистые комнаты имеют очень высокие требования к пожарной защите. В дополнение к системе пожарной защиты и водоснабжения, необходимо также тщательно определить фиксированные огнетушительные устройства, особенно ценное оборудование и инструменты в чистой комнате.
Пост времени: апрель-11-2024