Средства противопожарной защиты являются важной частью чистого помещения. Его важность заключается не только в том, что его технологическое оборудование и строительные проекты дороги, но и в том, что чистые помещения представляют собой относительно закрытые здания, а некоторые даже представляют собой мастерские без окон. Проходы в чистых помещениях узкие и извилистые, что затрудняет эвакуацию персонала и обучение огню. Чтобы обеспечить безопасность жизни и имущества людей, в проекте должна быть реализована политика противопожарной защиты «прежде всего профилактика, сочетание профилактики и пожара». Помимо принятия эффективных противопожарных мер при проектировании чистого помещения, также предусмотрены необходимые средства пожаротушения. Производственными характеристиками чистых помещений являются:
(1) Существует множество прецизионного оборудования и инструментов, а также используются различные легковоспламеняющиеся, взрывоопасные, коррозийные и токсичные газы и жидкости. Пожароопасность некоторых производственных деталей относится к категории C (например, диффузионное окисление, фотолитография, ионная имплантация, печать и упаковка и т. д.), а некоторые относятся к категории A (например, вытягивание монокристаллов, эпитаксия, химическое осаждение из паровой фазы и т. д.). .).
(2) Чистая комната очень герметична. В случае возникновения пожара будет сложно эвакуировать персонал и потушить пожар.
(3) Стоимость строительства чистого помещения высока, а оборудование и инструменты дороги. Если вспыхнет пожар, экономические потери будут огромными.
Исходя из вышеперечисленных характеристик, к чистым помещениям предъявляются очень высокие требования по пожарной безопасности. Помимо системы противопожарной защиты и водоснабжения, следует также установить стационарные устройства пожаротушения, необходимо тщательно определить особо ценное оборудование и инструменты в чистом помещении.
Время публикации: 11 апреля 2024 г.