Чистая комната — это специальное закрытое здание, построенное для контроля частиц в воздухе в космосе. Вообще говоря, чистая комната также будет контролировать такие факторы окружающей среды, как температура и влажность, характер движения воздушных потоков, а также вибрация и шум. Итак, из чего состоит чистая комната? Мы поможем вам разобраться в пяти частях:
1. Отделение
Отсек чистой комнаты разделен на три части: раздевалку, чистую зону класса 1000 и чистую зону класса 100. Раздевалка и зона чистоты 1000 класса оборудованы воздушными душами. Чистая комната и открытая площадка оборудованы воздушным душем. Ящик для пропусков используется для ввоза и вывоза предметов из чистого помещения. Когда люди входят в чистую комнату, они должны сначала пройти через воздушный душ, чтобы выдуть пыль, переносимую человеческим телом, и уменьшить количество пыли, попадающей в чистую комнату персоналом. Передаточный короб сдувает пыль с предметов для достижения эффекта пылеудаления.
2. Блок-схема воздушной системы
В системе используется новый кондиционер + система FFU:
(1). Конструкция коробки свежего кондиционера
(2).Блок фильтра вентилятора FFU
В фильтре для чистых помещений класса 1000 используется HEPA с эффективностью фильтрации 99,997%, а в фильтрах для чистых помещений класса 100 используется ULPA с эффективностью фильтрации 99,9995%.
3. Блок-схема системы водоснабжения
Система водоснабжения разделена на первичную и вторичную сторону.
Температура воды на первичной стороне составляет 7-12 ℃, которая подается в блок кондиционирования воздуха и фанкойл, а температура воды на вторичной стороне составляет 12-17 ℃, которая подается в систему сухого змеевика. Вода на первичной и вторичной стороне представляет собой два разных контура, соединенных пластинчатым теплообменником.
Принцип пластинчатого теплообменника
Сухой змеевик: змеевик без конденсации. Поскольку температура в цехе очистки составляет 22 ℃, а температура точки росы около 12 ℃, вода с температурой 7 ℃ не может напрямую попасть в чистое помещение. Таким образом, температура воды, поступающей в сухой змеевик, составляет 12–14 ℃.
4. Температура системы управления (DDC): управление системой сухого змеевика.
Влажность: кондиционер регулирует объем воды, поступающей в змеевик кондиционера, управляя открытием трехходового клапана с помощью воспринимаемого сигнала.
Положительное давление: регулировка кондиционера в соответствии с сигналом измерения статического давления автоматически регулирует частоту инвертора двигателя кондиционера, тем самым регулируя количество свежего воздуха, поступающего в чистое помещение.
5. Другие системы
Не только система кондиционирования воздуха, система чистых помещений также включает в себя вакуум, давление воздуха, азот, чистую воду, сточные воды, систему углекислого газа, технологическую вытяжную систему и стандарты испытаний:
(1). Проверка скорости и однородности воздушного потока. Это тестирование является предпосылкой для других испытаний эффекта чистой комнаты. Целью данного испытания является определение среднего расхода воздуха и равномерности однонаправленного потока рабочей зоны в чистом помещении.
(2). Определение объема воздуха в системе или помещении.
(3). Определение чистоты в помещении. Обнаружение чистоты предназначено для определения уровня чистоты воздуха, которого можно достичь в чистом помещении, и для его обнаружения можно использовать счетчик частиц.
(4). Определение времени самоочистки. Определив время самоочистки, можно убедиться в способности восстановить первоначальную чистоту чистого помещения при возникновении загрязнения внутри чистого помещения.
(5). Обнаружение структуры воздушного потока.
(6). Обнаружение шума.
(7). Обнаружение освещения. Целью испытания освещенности является определение уровня освещенности и равномерности освещенности чистого помещения.
(8). Обнаружение вибрации. Целью обнаружения вибрации является определение амплитуды вибрации каждого дисплея в чистом помещении.
(9). Определение температуры и влажности. Целью определения температуры и влажности является возможность регулировать температуру и влажность в определенных пределах. Его содержание включает определение температуры приточного воздуха в чистом помещении, определение температуры воздуха в репрезентативных точках измерения, определение температуры воздуха в центральной точке чистого помещения, определение температуры воздуха на чувствительных компонентах, определение относительной температуры воздуха в помещении и обнаружение температура возвратного воздуха.
(10). Обнаружение общего объема воздуха и объема свежего воздуха.
Время публикации: 24 января 2024 г.