КАК ОРГАНИЗОВАТЬ ХРАНЕНИЕ ХИМИЧЕСКИХ ВЕЩЕСТВ В ЧИСТОМ ПОМЕЩЕНИИ?

1. В пределах чистой комнаты следует организовать различные типы помещений для хранения и распределения химикатов в зависимости от требований к процессу производства продукции и физических и химических свойств химикатов. Для подачи необходимых химикатов к производственному оборудованию следует использовать трубопроводы. Помещения для хранения и распределения химикатов в чистой комнате обычно располагаются в зоне вспомогательного производства, как правило, на первом этаже одноэтажного или многоэтажного здания, у внешней стены. Химикаты следует хранить отдельно в соответствии с их физическими и химическими свойствами. Несовместимые химикаты следует размещать в отдельных помещениях для хранения и распределения химикатов, разделенных сплошными перегородками. Опасные химикаты следует хранить в отдельных помещениях для хранения или распределения с пределом огнестойкости не менее 2,0 часов между соседними помещениями. Эти помещения должны располагаться в помещении на первом этаже производственного здания, у внешней стены.

2. Чистые помещения в электронной промышленности часто имеют помещения для хранения и распределения кислот и щелочей, а также легковоспламеняющихся растворителей. Помещения для хранения и распределения кислот обычно вмещают системы хранения и распределения серной кислоты, фосфорной кислоты, плавиковой кислоты и соляной кислоты. Помещения для хранения и распределения щелочей обычно вмещают системы хранения и распределения гидроксида натрия, гидроксидного осадка, гидроксида аммония и гидроксида тетраметиламмония. Помещения для хранения и распределения легковоспламеняющихся растворителей обычно вмещают системы хранения и распределения органических растворителей, таких как изопропиловый спирт (ИПС). Чистые помещения на заводах по изготовлению пластин интегральных схем также имеют помещения для хранения и распределения полировочной суспензии. Помещения для хранения и распределения химикатов обычно располагаются во вспомогательных производственных или вспомогательных зонах рядом с чистыми производственными зонами или рядом с ними, как правило, на первом этаже с прямым выходом на улицу.

3. Помещения для хранения и распределения химикатов оборудованы бочками или цистернами различной емкости в зависимости от типа, количества и характеристик использования химикатов, необходимых для производства продукции. Согласно стандартам и правилам, химикаты должны храниться раздельно и классифицироваться. Емкость используемых бочек или цистерн должна быть достаточной для семидневного потребления химикатов. Также должны быть предусмотрены ежедневные бочки или цистерны емкостью, достаточной для покрытия 24-часового потребления химикатов, необходимых для производства продукции. Помещения для хранения и распределения легковоспламеняющихся растворителей и окислителей должны быть отдельными и отделены от смежных помещений сплошными огнестойкими стенами с пределом огнестойкости 3,0 часа. Если они расположены на первом этаже многоэтажного здания, они должны быть отделены от других зон негорючими полами с пределом огнестойкости не менее 1,5 часа. Централизованная диспетчерская для системы химической безопасности и мониторинга в чистом помещении должна располагаться в отдельном помещении.

4. Высота помещений для хранения и распределения химических веществ в пределах чистого помещения должна определяться с учетом требований к размещению оборудования и трубопроводов и, как правило, должна быть не менее 4,5 м. При расположении в пределах вспомогательной производственной зоны чистого помещения высота помещения для хранения и распределения химических веществ должна соответствовать высоте здания.