1. В чистых помещениях следует предусмотреть различные типы помещений для хранения и распределения химических веществ в зависимости от требований к технологическому процессу производства продукции и физических и химических свойств химических веществ. Для подачи необходимых химических веществ к производственному оборудованию следует использовать трубопроводы. Помещения для хранения и распределения химических веществ в чистых помещениях обычно располагаются во вспомогательной производственной зоне, как правило, на первом этаже одноэтажного или многоэтажного здания, рядом с внешней стеной. Химические вещества следует хранить раздельно в соответствии с их физическими и химическими свойствами. Несовместимые химические вещества следует размещать в отдельных помещениях для хранения и распределения химических веществ, разделенных прочными перегородками. Опасные химические вещества следует хранить в отдельных помещениях для хранения или распределения с огнестойкостью не менее 2,0 часов между соседними помещениями. Эти помещения должны располагаться на первом этаже производственного здания, рядом с внешней стеной.
2. В чистых помещениях электронной промышленности часто имеются складские и распределительные помещения для кислот и щелочей, а также для легковоспламеняющихся растворителей. В помещениях для хранения и распределения кислот обычно размещаются системы хранения и распределения серной, фосфорной, фтористоводородной и соляной кислот. В помещениях для хранения и распределения щелочей обычно размещаются системы хранения и распределения гидроксида натрия, гидроксидного осадка, гидроксида аммония и гидроксида тетраметиламмония. В помещениях для хранения и распределения легковоспламеняющихся растворителей обычно размещаются системы хранения и распределения органических растворителей, таких как изопропиловый спирт (ИПА). В чистых помещениях на заводах по производству полупроводниковых пластин также имеются складские и распределительные помещения для полировальных суспензий. Помещения для хранения и распределения химических веществ обычно располагаются во вспомогательных производственных или вспомогательных зонах рядом с чистыми производственными зонами или примыкают к ним, как правило, на первом этаже с прямым выходом на улицу.
3. Помещения для хранения и распределения химических веществ должны быть оборудованы бочками или резервуарами различной вместимости в зависимости от типа, количества и характеристик использования химических веществ, необходимых для производства продукции. В соответствии со стандартами и правилами, химические вещества должны храниться отдельно и классифицироваться. Вместимость используемых бочек или резервуаров должна быть достаточной для семидневного потребления химических веществ. Также должны быть предусмотрены бочки или резервуары суточной вместимости, достаточной для покрытия 24-часового потребления химических веществ, необходимых для производства продукции. Помещения для хранения и распределения легковоспламеняющихся растворителей и окисляющих химических веществ должны быть отделены от соседних помещений прочными огнестойкими стенами с огнестойкостью 3,0 часа. Если они расположены на первом этаже многоэтажного здания, их следует отделять от других помещений негорючими перекрытиями с огнестойкостью не менее 1,5 часов. Централизованная диспетчерская для системы химической безопасности и мониторинга в чистом помещении должна располагаться в отдельном помещении.
4. Высота помещений для хранения и распределения химических веществ в чистом помещении должна определяться исходя из требований к размещению оборудования и трубопроводов и, как правило, не должна быть менее 4,5 метров. Если помещения для хранения и распределения химических веществ расположены во вспомогательной производственной зоне чистого помещения, их высота должна соответствовать высоте здания.
Дата публикации: 01.08.2025