При наличии дефектов в HEPA-фильтре и его установке, таких как небольшие отверстия в самом фильтре или микротрещины, образовавшиеся из-за неплотного монтажа, ожидаемый эффект очистки не будет достигнут. Поэтому после установки или замены HEPA-фильтра необходимо провести проверку фильтра и монтажного соединения на герметичность.
1. Цель и область обнаружения утечек:
Цель обнаружения: путем проверки герметичности фильтра HEPA выявить дефекты фильтра HEPA и его установки, чтобы принять меры по устранению неполадок.
Диапазон обнаружения: чистая зона, ламинарный поток воздуха на рабочем столе и HEPA-фильтр на оборудовании и т. д.
2. Метод обнаружения утечек:
Наиболее распространённым методом обнаружения утечек является метод DOP (использование растворителя DOP в качестве источника пыли и использование аэрозольного фотометра для обнаружения утечек). Также для обнаружения утечек может использоваться метод сканирования счётчиком пылевых частиц (использование атмосферной пыли в качестве источника пыли и использование счётчика частиц для обнаружения утечек).
Однако, поскольку показания счётчика частиц являются кумулятивными, они не способствуют сканированию, а скорость проверки низкая. Кроме того, с наветренной стороны тестируемого HEPA-фильтра концентрация пыли в воздухе часто низкая, и для лёгкого обнаружения утечек требуется дополнительный дым. Метод счётчика частиц используется для обнаружения утечек. Метод DOP может компенсировать эти недостатки, поэтому в настоящее время он широко используется для обнаружения утечек.
3. Принцип работы метода обнаружения утечек DOP:
Аэрозоль ДОФ выбрасывается в качестве источника пыли с наветренной стороны тестируемого высокоэффективного фильтра (ДОФ — диоктилфталат, молекулярная масса 390,57, частицы после распыления имеют сферическую форму).
Для отбора проб с подветренной стороны используется аэрозольный фотометр. Собранные пробы воздуха проходят через диффузионную камеру фотометра. Рассеянный свет, генерируемый пылесодержащим газом, проходящим через фотометр, преобразуется в электричество благодаря фотоэлектрическому эффекту и линейному усилению и быстро отображается микроамперметром, что позволяет измерить относительную концентрацию аэрозоля. Фактически, тест DOP измеряет скорость проникновения через HEPA-фильтр.
Генератор ДОФ — это устройство, генерирующее дым. После заливки растворителя ДОФ в контейнер генератора, при определённом давлении или нагреве образуется аэрозольный дым, который поступает на наветренную сторону высокоэффективного фильтра (жидкость ДОФ нагревается до образования пара ДОФ, который нагревается в определённой ёмкости и конденсируется в мельчайшие капли при определённых условиях, удаляя слишком крупные и слишком мелкие капли, оставляя только частицы размером около 0,3 мкм, а туман ДОФ поступает в воздуховод).
Аэрозольные фотометры (приборы для измерения и отображения концентрации аэрозолей должны иметь указание срока действия калибровки и могут использоваться только в том случае, если они прошли калибровку и находятся в пределах срока действия);
4. Порядок проведения испытания на герметичность:
(1) Подготовка к обнаружению утечек
Подготовьте необходимое оборудование для обнаружения утечек и план расположения воздуховода системы очистки и кондиционирования воздуха в проверяемом помещении, а также сообщите компании, поставляющей оборудование для очистки и кондиционирования воздуха, о необходимости присутствия на месте в день обнаружения утечки для выполнения таких работ, как нанесение клея и замена HEPA-фильтров.
(2) Операция по обнаружению утечек
①Проверьте, превышает ли уровень жидкости растворителя ДОФ в аэрозольном генераторе минимальный уровень. Если его недостаточно, его следует добавить.
②Подсоедините баллон с азотом к генератору аэрозоля, включите температурный переключатель генератора аэрозоля и подождите, пока красный индикатор не изменится на зеленый, что будет означать достижение температуры (около 390~420 ℃).
③Подсоедините один конец испытательного шланга к входному порту для измерения концентрации аэрозольного фотометра, а другой конец подключите к стороне воздухозаборника (входной стороне) проверяемого HEPA-фильтра. Включите фотометр и установите значение измерения на «100».
4. Включите азотный клапан, поддерживайте давление в диапазоне 0,05–0,15 МПа, медленно откройте масляный клапан генератора аэрозоля, поддерживайте контрольное значение фотометра в диапазоне 10–20 и введите измеренную концентрацию на входе после стабилизации контрольного значения. Выполните последующие операции сканирования и проверки.
⑤Подсоедините один конец испытательного шланга к выходному порту для измерения концентрации аэрозольного фотометра, а другой конец, зонд для забора воздуха, используйте для сканирования стороны выхода воздуха из фильтра и кронштейна. Расстояние между зондом и фильтром должно составлять около 3–5 см. Сканирование производится в прямом и обратном направлении вдоль внутренней рамы фильтра. Скорость сканирования должна быть менее 5 см/с.
В объем испытаний входит проверка фильтрующего материала, соединения фильтрующего материала с его рамой, соединения прокладки рамки фильтра и опорной рамы группы фильтров, соединения опорной рамы со стеной или потолком для проверки фильтрующего материала на наличие небольших отверстий и других повреждений в фильтре, уплотнений рамы, уплотнений прокладок и утечек в раме фильтра.
Плановое обнаружение утечек из HEPA-фильтров в чистых зонах выше класса 10000 обычно проводится один раз в год (в стерильных зонах — раз в полгода); при наличии существенных отклонений от нормы в количестве частиц пыли, седиментационных бактерий и скорости воздуха при ежедневном мониторинге чистых зон следует также проводить обнаружение утечек.
Время публикации: 07.09.2023