Источники частиц делятся на неорганические частицы, органические частицы и живые частицы. В организме человека легко вызвать респираторные и легочные заболевания, а также аллергию и вирусные инфекции; в случае кремниевых чипов прилипание частиц пыли приведет к деформации или короткому замыканию интегральных схем, в результате чего чипы потеряют свои рабочие функции, поэтому контроль источников микрозагрязнений стал важной частью управления чистыми помещениями.
Важность экологического контроля в чистых помещениях заключается в обеспечении соответствия условий окружающей среды в производственном процессе конкретным стандартам чистоты, что имеет решающее значение для многих отраслей промышленности. Ниже приводится важность и особая роль контроля окружающей среды в чистых помещениях:
1. Обеспечьте качество продукции
1.1 Предотвращение загрязнения. В таких отраслях, как производство полупроводников, фармацевтических препаратов и медицинского оборудования, мельчайшие частицы загрязняющих веществ могут вызвать дефекты или сбои в работе продукции. Контролируя качество воздуха и концентрацию частиц в чистом помещении, можно эффективно предотвратить воздействие этих загрязнителей на продукт.
В дополнение к первоначальным инвестициям в оборудование, поддержание и контроль чистоты чистых помещений также требует хорошей системы управления «программным обеспечением» для поддержания хорошей чистоты. Из результатов данных на приведенном выше рисунке видно, что операторы оказывают наибольшее влияние на чистоту чистого помещения. Когда операторы входят в чистое помещение, пыль значительно увеличивается. Когда туда-сюда ходят люди, чистота сразу ухудшается. Видно, что основной причиной ухудшения чистоты является человеческий фактор.
1.2 Последовательность. Чистая среда помещения помогает поддерживать последовательность и повторяемость производственного процесса, обеспечивая тем самым стабильное качество продукции.
Что касается стеклянной подложки, то прилипание частиц пыли приведет к появлению царапин на стеклянной подложке, коротких замыканий и пузырей, а также к ухудшению качества процесса, что приведет к слому. Поэтому контроль источников загрязнения стал важной частью управления чистыми помещениями.
Внешнее проникновение пыли и предотвращение
В чистом помещении должно поддерживаться надлежащее положительное давление (>0,5 мм/рт.ст.), тщательно выполняться на предварительном проекте строительства, чтобы гарантировать отсутствие утечек воздуха, а также перед вводом персонала, оборудования, сырья, инструментов, расходных материалов и т. д. в чистое помещение их необходимо очистить и протереть и т. д. Меры по предотвращению пыли. В то же время инструменты для чистки необходимо правильно размещать и регулярно заменять или чистить.
Образование и предотвращение образования пыли в чистых помещениях
Соответствующий выбор материалов для чистых помещений, таких как перегородки и полы, контроль технологического оборудования, т.е. регулярное техническое обслуживание и уборка, производственному персоналу не разрешается ходить или делать большие движения тела в своих местах, а также принимаются профилактические меры, такие как добавление липких ковриков. принимаются на специальных станциях.
2. Повышение эффективности производства
2.1 Снизить процент брака. Уменьшая примеси и загрязняющие вещества в производственном процессе, можно снизить процент брака, увеличить выход продукции и, таким образом, повысить эффективность производства.
Например: производство пластин состоит из 600 этапов. Если выход каждого процесса составляет 99%, каков общий выход 600 процедур процесса? Ответ: 0,99^600 = 0,24%.
Насколько высоким должен быть выход на каждом этапе, чтобы сделать процесс экономически целесообразным?
•0,999^600= 54,8%
•0,9999^600=94,2%
Выход каждого процесса должен достигать более 99,99%, чтобы достичь конечного выхода процесса более 90%, а загрязнение микрочастицами будет напрямую влиять на выход процесса.
2.2 Ускорьте процесс. Работа в чистой среде может сократить ненужное время на очистку и доработку, что сделает производственный процесс более эффективным.
3. Обеспечить здоровье и безопасность персонала.
3.1 Гигиена труда: Для некоторых производственных процессов, которые могут выделять вредные вещества, чистые помещения могут предотвратить распространение вредных веществ во внешнюю среду и защитить здоровье работников. С момента развития человечества технологии, оборудование и знания совершенствовались, но качество воздуха ухудшилось. За свою жизнь человек вдыхает около 270 000 м3 воздуха и от 70% до 90% времени проводит в помещении. Мельчайшие частицы вдыхаются организмом человека и откладываются в дыхательной системе. Частицы размером от 5 до 30 мкм откладываются в носоглотке, частицы от 1 до 5 мкм откладываются в трахее и бронхах, а частицы размером менее 1 мкм откладываются в стенке альвеол.
Люди, которые длительное время находятся в помещении с недостаточным объемом свежего воздуха, склонны к «синдрому помещения» с такими симптомами, как головная боль, стеснение в груди и усталость, а также склонны к заболеваниям дыхательной и нервной системы. Национальный стандарт моей страны GB/T18883-2002 предусматривает, что объем свежего воздуха не должен быть менее 30 м3/ч. человек.
Объем свежего воздуха чистого помещения должен принимать максимальное значение из следующих двух пунктов:
а. Сумма объема воздуха, необходимая для компенсации объема выхлопных газов внутри помещения и обеспечения значения положительного давления в помещении.
б. Обеспечьте наличие свежего воздуха, необходимого персоналу чистого помещения. Согласно проекту чистого помещения, объем свежего воздуха на человека в час составляет не менее 40 м3.
3.2 Безопасное производство. Контролируя параметры окружающей среды, такие как влажность и температура, можно избежать угроз безопасности, таких как электростатический разряд, и обеспечить безопасность производства.
4. Соответствие нормативным и стандартным требованиям.
4.1 Отраслевые стандарты. Во многих отраслях действуют строгие стандарты чистоты (например, ISO 14644), и производство должно осуществляться в чистых помещениях определенного класса. Соблюдение этих стандартов является не только нормативным требованием, но и отражением корпоративной конкурентоспособности.
Для чистого рабочего места, чистого сарая, окна передачи ламинарного потока, блока вентиляторного фильтра FFU, чистого шкафа, шкафа с ламинарным потоком, шкафа для взвешивания, чистого экрана, самоочистителя, продуктов серии воздушного душа необходимо стандартизировать методы тестирования чистоты существующие продукты для повышения надежности продуктов.
4.2 Сертификация и аудит: Пройдите аудит сторонних сертификационных агентств и получите соответствующие сертификаты (например, GMP, ISO 9001 и т. д.), чтобы повысить доверие клиентов и расширить доступ к рынку.
5. Содействие технологическим инновациям
5.1 Поддержка исследований и разработок. Чистые помещения обеспечивают идеальную экспериментальную среду для разработки высокотехнологичных продуктов и помогают ускорить разработку новых продуктов.
5.2 Оптимизация процесса. В строго контролируемой среде легче наблюдать и анализировать влияние изменений процесса на производительность продукта, тем самым способствуя совершенствованию процесса.
6. Улучшите имидж бренда
6.1 Обеспечение качества. Наличие чистых производственных мощностей, отвечающих высоким стандартам, может улучшить имидж бренда и повысить доверие клиентов к качеству продукции.
6.2 Рыночная конкурентоспособность. Продукция, которую можно производить в экологически чистой среде, часто рассматривается как символ высокого качества и высокой надежности, что помогает компаниям выделиться в жесткой рыночной конкуренции.
7. Сократите затраты на ремонт и техническое обслуживание.
7.1 Продление срока службы оборудования. Производственное оборудование и инструменты, работающие в чистых условиях, менее подвержены коррозии и износу, что продлевает срок службы и снижает частоту и затраты на техническое обслуживание.
7.2 Сокращение энергопотребления. Путем оптимизации проектирования и управления чистыми помещениями можно повысить энергоэффективность, снизить энергопотребление и эксплуатационные расходы.
Четыре принципа управления работой чистых помещений:
1. Не вносить:
Каркас фильтра HEPA не может протекать.
В помещении необходимо поддерживать расчетное давление.
После воздушного душа операторы должны переодеться и войти в чистое помещение.
Все используемые материалы, оборудование и инструменты должны быть очищены перед тем, как их можно будет принести.
2. Не генерируйте:
Персонал должен носить непыльную одежду.
Сократите ненужные действия.
Не используйте материалы, которые легко образуют пыль.
Ненужные вещи проносить нельзя.
3. Не накапливайте:
Не должно быть углов и периферийных частей машины, которые трудно мыть или чистить.
Постарайтесь свести к минимуму открытые воздуховоды, водопроводные трубы и т. д. в помещении.
Очистку необходимо проводить стандартными методами и в установленное время.
4. Немедленно удалите:
Увеличьте количество смен воздуха.
Выхлоп рядом с пылеобразующей частью.
Улучшите форму воздушного потока, чтобы предотвратить прилипание пыли к изделию.
Короче говоря, контроль окружающей среды в чистых помещениях имеет большое значение для обеспечения качества продукции, повышения эффективности производства, защиты здоровья и безопасности персонала, соблюдения нормативных требований, продвижения технологических инноваций и улучшения имиджа бренда. Предприятия должны полностью учитывать эти факторы при строительстве и обслуживании чистых помещений, чтобы гарантировать, что чистые помещения могут отвечать потребностям производства и исследований и разработок.
Время публикации: 12 ноября 2024 г.