Чистое помещение — это помещение с контролируемой концентрацией взвешенных частиц в воздухе. Его конструкция и использование должны минимизировать попадание, образование и удержание частиц внутри помещения. Другие важные параметры, такие как температура, влажность и давление в помещении, должны контролироваться по мере необходимости. Чистое помещение определяется количеством частиц определенного размера на единицу объема воздуха. Оно подразделяется по концентрации взвешенных частиц в воздухе. В общем, чем меньше значение, тем выше уровень очистки. То есть, класс 10 > класс 100 > класс 10000 > класс 100000.
Стандарт чистоты класса 100 в основном включает операционные, асептические производственные помещения фармацевтической промышленности.
Максимальное количество частиц с размером, соответствующим чистоте, равным или превышающим 0,1 микрона, не может превышать 100.
Разница давлений, температура и влажность: температура 22℃±2; влажность 55%±5; в принципе, необходимо полностью покрыть помещение фильтрующим элементом и сделать приподнятые этажи. Создать систему MAU+FFU+DC. Также поддерживать положительное давление, гарантируя, что градиент давления в соседних помещениях будет составлять около 10 Па.
Освещение. Поскольку большинство рабочих процессов в чистых помещениях без пыли предъявляют высокие требования, и все они представляют собой закрытые помещения, требования к освещению всегда были высокими. Локальное освещение: это система освещения, предназначенная для повышения освещенности определенного участка. Однако локальный свет, как правило, не используется отдельно в системах внутреннего освещения. Смешанное освещение: это освещение рабочей поверхности, которое синтезируется одним источником света и локальным освещением, при этом на долю общего освещения должно приходиться 10-15% от общей освещенности.
Стандарт для чистых помещений класса 1000 предусматривает контроль количества пылевых частиц размером менее 0,5 микрон на кубический метр до уровня менее 3500, что соответствует международному стандарту чистоты воздуха уровня А. Стандарт чистоты воздуха, используемый в настоящее время в производстве и обработке микросхем, предъявляет более высокие требования к содержанию пыли, чем стандарт класса А. Такие высокие стандарты в основном применяются при производстве микросхем более высокого уровня. Количество пылевых частиц строго контролируется в пределах 1000 на кубический метр, что в индустрии чистых помещений обычно обозначается как класс 1000.
Для большинства чистых беспыльных цехов, чтобы предотвратить проникновение внешних загрязнений, необходимо поддерживать внутреннее давление (статическое давление) выше внешнего давления (статического давления). Поддержание разницы давлений должно, как правило, соответствовать следующим принципам: давление в чистом помещении должно быть выше, чем в нечистом; давление в помещении с высоким уровнем чистоты должно быть выше, чем в соседнем помещении с низким уровнем чистоты; двери между соединенными чистыми помещениями должны быть открыты в помещения с высоким уровнем чистоты. Поддержание разницы давлений зависит от количества свежего воздуха, которое должно компенсировать количество воздуха, утекающего через щели при этой разнице давлений. Таким образом, физический смысл разницы давлений заключается в сопротивлении утечке (или проникновению) объема воздуха при его прохождении через различные щели в чистом помещении.
Чистая комната класса 10000 означает, что количество частиц пыли размером 0,5 мкм и более превышает 35 000 частиц/м³ (35 частиц/м³) и менее чем равно 35 000 частиц/м³ (350 частиц/м³), а количество частиц пыли размером 5 мкм и более превышает 300 частиц/м³ (0,3 частицы/м³) и менее чем равно 3000 частиц/м³ (3 частицы/м³). Контроль перепада давления, температуры и влажности.
Система управления температурой и влажностью сухого теплообменника. Блок кондиционирования воздуха регулирует подачу воды в теплообменник, управляя открытием трехходового клапана на основе полученного сигнала.
Чистая комната класса 100 000 означает, что количество частиц на кубический метр в рабочем цехе контролируется в пределах 100 000. Производственные цеха с чистыми комнатами в основном используются в электронной и фармацевтической промышленности. Для пищевой промышленности наличие цеха класса 100 000 является вполне приемлемым. В чистой комнате класса 100 000 требуется 15-19 воздухообменов в час. После полной вентиляции время очистки воздуха не должно превышать 40 минут.
Разница давлений в чистых помещениях с одинаковым уровнем чистоты должна оставаться постоянной. Разница давлений между соседними чистыми помещениями с разным уровнем чистоты должна составлять 5 Па, а разница давлений между чистыми и нечистыми помещениями должна быть >10 Па.
Температура и влажность. Если в чистом помещении класса 100 000 нет особых требований к температуре и влажности, рекомендуется носить чистую рабочую одежду, не испытывая дискомфорта. Температура обычно поддерживается на уровне 20–22℃ зимой и 24–26℃ летом с колебаниями ±2°C. Влажность в чистых помещениях зимой контролируется на уровне 30–50%, а летом — на уровне 50–70%. Освещенность основных производственных помещений в чистых зонах должна, как правило, составлять >300 лк; освещенность вспомогательных помещений, помещений для очистки персонала и материалов, воздушных камер, коридоров и т. д. должна составлять 200–300 лк.
Дата публикации: 14 апреля 2025 г.