Чистое помещение – это помещение с контролируемой концентрацией взвешенных частиц в воздухе. Его конструкция и эксплуатация должны снижать попадание, образование и удержание частиц в помещении. Другие важные параметры, такие как температура, влажность и давление в помещении, должны контролироваться по мере необходимости. Площадь чистого помещения определяется количеством частиц определенного размера в единице объема воздуха. Она делится на площадь в зависимости от концентрации взвешенных частиц в воздухе. Как правило, чем меньше это значение, тем выше уровень очистки. То есть, класс 10 > класс 100 > класс 10000 > класс 100000.
Стандарт чистых помещений класса 100 в основном распространяется на операционные, асептические производства фармацевтической промышленности.
Максимальное количество частиц с размером чистоты больше или равным 0,1 мкм не может быть больше 100.
Перепад давления, температуры и влажности: температура 22°C ± 2°F; влажность 55% ± 5°F; необходимо полностью покрыть его армированным футеровочным материалом и сделать фальшпол. Необходимо использовать систему MAU+FFU+DC. Также необходимо поддерживать положительное давление, а градиент давления в соседних помещениях должен быть около 10 Па.
Освещение. Поскольку большинство работ в чистых помещениях с защитой от пыли предъявляют высокие требования, а сами помещения представляют собой закрытые помещения, к освещению всегда предъявлялись высокие требования. Местное освещение: это освещение, предназначенное для повышения освещенности определенного места. Однако локальное освещение, как правило, не используется отдельно в качестве внутреннего освещения. Смешанное освещение: это освещение рабочей поверхности, которое синтезируется одним источником света и местным освещением, при этом общее освещение должно составлять 10–15% от общей освещенности.
Стандарт для чистых помещений класса 1000 предусматривает контроль количества частиц пыли размером менее 0,5 мкм на кубический метр до уровня менее 3500, что соответствует международному стандарту чистоты A. Стандарт чистоты, используемый в настоящее время в производстве и обработке микросхем, предъявляет более высокие требования к содержанию пыли, чем класс A. Такие высокие стандарты в основном применяются при производстве некоторых микросхем более высокого уровня чистоты. Количество частиц пыли строго контролируется в пределах 1000 на кубический метр, что в сфере чистых помещений обычно называется классом 1000.
Для большинства чистых беспыльных цехов, чтобы предотвратить проникновение внешних загрязнений, необходимо поддерживать внутреннее давление (статическое давление) выше внешнего давления (статическое давление). Поддержание перепада давления, как правило, должно соответствовать следующим принципам: давление чистого пространства должно быть выше, чем давление нечистого пространства; давление пространства с высоким уровнем чистоты должно быть выше, чем давление смежного пространства с низким уровнем чистоты; двери между соединенными чистыми помещениями должны быть открыты в помещения с высоким уровнем чистоты. Поддержание перепада давления зависит от количества свежего воздуха, которое должно быть в состоянии компенсировать количество воздуха, просачивающегося из зазоров под действием этого перепада давления. Таким образом, физический смысл перепада давления заключается в сопротивлении утечки (или инфильтрации) объема воздуха при его прохождении через различные зазоры в чистом помещении.
Класс чистоты помещения 10000 означает, что количество частиц пыли размером 0,5 мкм или больше составляет от 35 000 частиц/м³ (35 частиц/м³) до 35 000 частиц/м³ (350 частиц/м³), а количество частиц пыли размером 5 мкм или больше составляет от 300 частиц/м³ (0,3 частицы) до 3000 частиц/м³ (3 частицы). Необходимо контролировать перепад давления, температуру и влажность.
Система управления температурой и влажностью с сухим теплообменником. Кондиционер регулирует подачу воды в теплообменник, управляя открытием трёхходового клапана по сигналу датчика.
Чистота помещения класса 100000 означает, что количество частиц на кубический метр в производственном помещении контролируется в пределах 100 000. Производственные цеха чистых помещений используются в основном в электронной и фармацевтической промышленности. Для пищевой промышленности производственные цеха класса 100 000 вполне подходят. В помещении класса 100 000 требуется 15–19 воздухообменов в час. После полной вентиляции время очистки воздуха не должно превышать 40 минут.
Перепад давления в чистых помещениях одинаковой степени чистоты должен поддерживаться постоянным. Перепад давления между соседними чистыми помещениями разной степени чистоты должен составлять 5 Па, а между чистыми и нечистыми помещениями — более 10 Па.
Температура и влажность. При отсутствии особых требований к температуре и влажности в чистых помещениях класса 100000 рекомендуется носить чистую рабочую одежду, не испытывая дискомфорта. Температура, как правило, поддерживается на уровне 20–22 °C зимой и 24–26 °C летом с отклонением ±2 °C. Влажность воздуха в чистых помещениях зимой поддерживается на уровне 30–50 %, а летом – на уровне 50–70 %. Значение освещенности основных производственных помещений в чистых помещениях (зонах) должно быть, как правило, >300 лк; значение освещенности вспомогательных студий, помещений для очистки персонала и материалов, воздушных камер, коридоров и т. д. должно быть 200–300 лк.
Время публикации: 14 апреля 2025 г.