① Чистое помещение является крупным потребителем энергии. Его энергопотребление включает в себя электроэнергию, тепло и холод, используемые производственным оборудованием в чистом помещении, энергопотребление, теплопотребление и холодопроизводительность системы кондиционирования воздуха очистки, энергопотребление холодильной установки и очистки выхлопных газов. Энергопотребление и теплопотребление самого устройства, энергопотребление, теплопотребление и холодопроизводительность процесса подготовки и транспортировки различных высокочистых веществ, энергопотребление, теплопотребление, холодопроизводительность и освещение различных общественных объектов. Энергопотребление чистого помещения той же площади в 10 раз превышает энергопотребление офисного здания и даже больше. Некоторые чистые помещения в электронной промышленности требуют больших площадей, больших площадей и больших объемов. С развитием науки и техники, для удовлетворения требований к крупномасштабному производству электронной продукции и высокой надежности, часто используется крупномасштабное прецизионное производственное оборудование, интегрированное с несколькими процессами для непрерывного производства. Для этого оно должно быть размещено на большой площади здания, в чистой производственной зоне и с использованием как верхней, так и нижней технологической инфраструктуры. «Мезонин» представляет собой большое пространство и совмещенное крупномасштабное здание с чистыми помещениями.
② В чистых помещениях электронной промышленности часто устанавливаются соответствующие транспортные трубопроводы и необходимые системы очистки выхлопных газов. Эти системы не только потребляют энергию, но и увеличивают объём подачи воздуха в чистое помещение. Чистые помещения для электронных изделий потребляют много энергии. Системы очистки воздуха, необходимые для обеспечения чистой производственной среды, включая системы кондиционирования воздуха, охлаждения и отопления, потребляют много энергии. Если требования к уровню чистоты воздуха строгие, из-за объёма подачи чистого воздуха и большого объёма свежего воздуха потребление энергии велико, и система работает непрерывно, круглосуточно, практически круглый год.
③Непрерывность использования различных энергоемких объектов. Для обеспечения постоянства уровней чистоты воздуха в различных чистых помещениях, стабильности различных функциональных параметров помещений и потребностей процессов производства продукции многие чистые помещения работают в режиме онлайн, как правило, 24 часа в сутки. В связи с непрерывной работой чистого помещения электроснабжение, охлаждение, отопление и т. Д. Необходимо планировать в соответствии с требованиями процесса производства продукции или планами производства в чистом помещении, а также обеспечивать своевременную поставку различных источников энергии. Энергопотребление различных типов чистых помещений, помимо энергоснабжения производственного оборудования и охлаждающей воды, высокочистых веществ, химикатов и специальных газов, тесно связанных с ассортиментом продукции, меняется в зависимости от ассортимента продукции и производственного процесса. Значительную долю общего энергопотребления составляет потребление электроэнергии и энергии охлаждения (тепла) холодильными машинами и системами кондиционирования воздуха с очисткой.
4. В соответствии с требованиями к технологическому процессу производства продукции и требованиями к контролю окружающей среды в чистых помещениях, будь то зимой, переходный сезон или летом, существует потребность в так называемой «низкоуровневой тепловой энергии» с температурой ниже 60 ℃. Например, система кондиционирования воздуха для очистки требует подачи горячей воды разной температуры для подогрева наружного свежего воздуха зимой и переходным сезоном, но подача тепла различается в зависимости от сезона. Большое количество чистой воды используется в чистых помещениях в основном для производства электронных изделий. Часовой расход чистой воды в процессах производства интегральных схем и производства TFT-ЖК-панелей достигает сотен тонн. Для получения необходимого качества чистой воды обычно используется технология обратного осмоса (RO). Оборудование RO требует поддержания температуры воды около 25 °C и часто нуждается в подаче горячей воды определенной температуры. Исследования, проведенные в ряде компаний, показывают, что в последние годы низкоуровневая тепловая энергия в чистых помещениях, например, конденсационная теплота холодильных установок, постепенно используется для получения горячей воды с температурой около 40°C, заменяя первоначальное использование пара низкого давления или горячей воды высокой температуры для отопления/предварительного подогрева, что обеспечивает очевидные энергосберегающие и экономические преимущества. Таким образом, чистые помещения обладают как «ресурсами» низкоуровневых источников тепла, так и потребностью в низкоуровневой тепловой энергии. Это одна из важных особенностей чистых помещений, которые интегрируют и используют низкоуровневую тепловую энергию для снижения энергопотребления.
Время публикации: 14 ноября 2023 г.