① Чистая комната является крупным потребителем энергии. Его энергопотребление включает в себя электроэнергию, тепло и охлаждение, используемые производственным оборудованием в чистых помещениях, энергопотребление, теплопотребление и охлаждающую нагрузку системы очистки воздуха, энергопотребление холодильной установки и очистку выхлопных газов. Потребляемая мощность и теплопотребление устройства, энергопотребление, теплопотребление и холодильная нагрузка приготовления и транспортировки различных особо чистых веществ, энергопотребление, теплопотребление, энергопотребление охлаждения и освещения различных энергетических объектов общественного назначения. Потребление энергии в чистом помещении той же площади в 10 раз выше, чем в офисном здании, а то и больше. Некоторые чистые помещения в электронной промышленности требуют больших помещений, больших площадей и больших объемов. С развитием науки и техники, чтобы удовлетворить крупномасштабные и высоконадежные требования к производительности производства электронной продукции, часто используется крупномасштабное прецизионное производственное оборудование, интегрированное с несколькими процессами для непрерывного производства. Для этого его необходимо разместить на большой площади здания, в чистой производственной зоне и с верхними и нижними технологиями. «Мезонин» представляет собой большое пространство и объединенное крупногабаритное здание с чистыми помещениями.
② Соответствующие транспортные трубопроводы и необходимые устройства для очистки выхлопных газов часто устанавливаются в чистых помещениях электронной промышленности. Эти установки по очистке выхлопных газов не только потребляют энергию, но и увеличивают объем подачи воздуха в чистое помещение. Чистые помещения для электронных продуктов потребляют много энергии. Установки очистки воздуха, необходимые для обеспечения чистой производственной среды, включая системы кондиционирования воздуха, системы охлаждения и отопления, потребляют много энергии. Если требования к уровню чистоты воздуха строгие, из-за объема подачи чистого воздуха и большого объема свежего воздуха потребление энергии велико, и он работает непрерывно днем и ночью почти каждый день в течение года.
③Беспрерывность использования различных энергопотребляющих объектов. Чтобы обеспечить постоянный уровень чистоты воздуха в различных чистых помещениях, стабильность различных функциональных параметров помещений и потребности процессов производства продукции, многие чистые помещения работают в режиме онлайн, обычно 24 часа в сутки. Из-за непрерывной работы чистого помещения электропитание, охлаждение, обогрев и т. д. должны быть запланированы в соответствии с требованиями процесса производства продукции или планами производства в чистом помещении, а различные источники энергии могут поставляться своевременно. При энергопотреблении различных типов чистых помещений, помимо энергоснабжения оборудования для производства продукции и охлаждающей воды, веществ высокой чистоты, химикатов и специальных газов, которые тесно связаны с разновидностью продукции, меняется энергообеспечение чистых помещений. с разнообразием продукции и производственным процессом. Большую часть общего потребления энергии составляет потребление электроэнергии и энергии охлаждения (тепла) холодильными машинами и системами очистки воздуха.
④ В соответствии с требованиями процесса производства продукции и требованиями экологического контроля чистых помещений, будь то зимой, переходным сезоном или летом, существует потребность в так называемой «тепловой энергии низкого уровня» с температурой ниже 60 ℃. Например, система кондиционирования воздуха с очисткой требует подачи горячей воды разной температуры для нагрева наружного свежего воздуха в зимний и переходный сезоны, но подача тепла в разные сезоны разная. Большое количество чистой воды в основном используется в чистых помещениях при производстве электронной продукции. Часовое потребление чистой воды в процессах производства интегральных микросхем и TFT-ЖК-панелей достигает сотен тонн. Для получения необходимого качества чистой воды обычно используют технологию обратного осмоса RO. Оборудование RO требует поддержания температуры воды на уровне около 25°C и часто требует подачи горячей воды определенной температуры. Исследования некоторых компаний показывают, что в последние годы низкоуровневая тепловая энергия в чистых помещениях, такая как тепло конденсации холодильных машин, постепенно стала использоваться для обеспечения горячей воды с низкой температурой около 40°C, заменив первоначальное использование низкой температуры. -пар под давлением или горячая вода высокой температуры для нагрева/предварительного нагрева, что обеспечивает очевидные энергосберегающие и экономические преимущества. Таким образом, чистые помещения имеют как «ресурсы» низкоактивных источников тепла, так и потребность в низкоактивной тепловой энергии. Это одна из важных особенностей чистых помещений, которые объединяют и используют низкоуровневую тепловую энергию для снижения энергопотребления.
Время публикации: 14 ноября 2023 г.