Охране окружающей среды уделяется все больше внимания, особенно в связи с увеличением количества осадков. Создание чистых помещений является одной из мер по защите окружающей среды. Как эффективно использовать технологии чистых помещений для обеспечения экологической безопасности? Давайте поговорим о контроле в сфере чистых помещений.
Контроль температуры и влажности в чистом помещении.
Температура и влажность в чистых помещениях в основном определяются технологическими требованиями, но при их соблюдении необходимо учитывать комфорт человека. С повышением требований к чистоте воздуха наблюдается тенденция к ужесточению требований к температуре и влажности в технологических процессах.
В целом, в связи с повышением точности обработки, требования к диапазону колебаний температуры становятся все меньше и меньше. Например, в процессе литографии и экспонирования при крупномасштабном производстве интегральных схем разница в коэффициентах теплового расширения между стеклянными и кремниевыми пластинами, используемыми в качестве материалов для масок, становится все более незначительной.
Кремниевая пластина диаметром 100 мкм при повышении температуры на 1 градус подвергается линейному расширению на 0,24 мкм. Поэтому необходима постоянная температура ± 0,1 ℃, а влажность, как правило, низкая, поскольку после испарения влаги изделие загрязняется, особенно в полупроводниковых цехах, где опасаются воздействия натрия. В таких цехах температура не должна превышать 25 ℃.
Избыточная влажность создает больше проблем. Когда относительная влажность превышает 55%, на стенках трубок системы охлаждения образуется конденсат. В прецизионных устройствах или цепях это может привести к различным авариям. При относительной влажности 50% легко возникает коррозия. Кроме того, при слишком высокой влажности пыль, прилипшая к поверхности кремниевой пластины, химически адсорбируется на ней молекулами воды из воздуха, что затрудняет ее удаление.
Чем выше относительная влажность, тем сложнее удалить прилипшие частицы. Однако, когда относительная влажность ниже 30%, частицы также легко адсорбируются на поверхности под действием электростатической силы, и большое количество полупроводниковых устройств подвержено пробою. Оптимальный температурный диапазон для производства кремниевых пластин составляет 35-45%.
Давление воздухаконтрольв чистой комнате
В большинстве чистых помещений для предотвращения проникновения внешних загрязнений необходимо поддерживать внутреннее давление (статическое давление) выше внешнего давления (статического давления). Поддержание разницы давлений должно, как правило, соответствовать следующим принципам:
1. Давление в чистых помещениях должно быть выше, чем в грязных.
2. Давление в помещениях с высоким уровнем чистоты должно быть выше, чем в соседних помещениях с низким уровнем чистоты.
3. Двери между чистыми помещениями следует открывать в сторону помещений с высоким уровнем чистоты.
Поддержание разницы давлений зависит от количества свежего воздуха, которое должно компенсировать утечку воздуха из зазора при этой разнице давлений. Таким образом, физический смысл разницы давлений заключается в сопротивлении утечке (или инфильтрации) воздушного потока через различные зазоры в чистом помещении.
Дата публикации: 21 июля 2023 г.