Охране окружающей среды уделяется все больше внимания, особенно с усилением туманной погоды. Проектирование чистых помещений является одной из мер по охране окружающей среды. Как использовать технику чистых помещений для эффективной защиты окружающей среды? Давайте поговорим об управлении в технике чистых помещений.
Контроль температуры и влажности в чистом помещении
Температура и влажность чистых помещений в основном определяются на основе технологических требований, но при выполнении технологических требований следует учитывать комфорт человека. С повышением требований к чистоте воздуха наблюдается тенденция ужесточения требований к температуре и влажности в процессе производства.
В целом, из-за повышения точности обработки требования к диапазону колебаний температуры становятся все меньше и меньше. Например, в процессе литографии и экспонирования при крупномасштабном производстве интегральных схем разница в коэффициенте теплового расширения между стеклянными и кремниевыми пластинами, используемыми в качестве материалов маски, становится все меньше.
Кремниевая пластина диаметром 100 мкм вызывает линейное расширение 0,24 мкм при повышении температуры на 1 градус. Поэтому необходима постоянная температура ± 0,1 ℃, а значение влажности, как правило, низкое, поскольку после потоотделения продукт будет загрязнен, особенно в полупроводниковых цехах, которые боятся натрия. В мастерской этого типа температура не должна превышать 25 ℃.
Повышенная влажность вызывает больше проблем. Когда относительная влажность превышает 55 %, на стенках труб охлаждающей воды образуется конденсат. Если это происходит в прецизионных устройствах или цепях, это может привести к различным несчастным случаям. При относительной влажности 50% легко ржаветь. Кроме того, при слишком высокой влажности пыль, прилипшая к поверхности кремниевой пластины, будет химически адсорбироваться на поверхности через молекулы воды в воздухе, которую трудно удалить.
Чем выше относительная влажность, тем труднее удалить налипание. Однако при относительной влажности ниже 30% частицы также легко адсорбируются на поверхности из-за действия электростатической силы, и большое количество полупроводниковых приборов склонны к выходу из строя. Оптимальный температурный диапазон производства кремниевых пластин составляет 35-45%.
Давление воздухаконтрольв чистой комнате
Для большинства чистых помещений, чтобы предотвратить проникновение внешних загрязнений, необходимо поддерживать внутреннее давление (статическое давление) выше внешнего давления (статическое давление). Поддержание разницы давлений обычно должно соответствовать следующим принципам:
1. Давление в чистых помещениях должно быть выше, чем в нечистых.
2. Давление в помещениях с высоким уровнем чистоты должно быть выше, чем в смежных помещениях с низким уровнем чистоты.
3. Двери между чистыми помещениями должны быть открыты в сторону помещений с повышенным уровнем чистоты.
Поддержание разницы давлений зависит от количества свежего воздуха, которое должно быть в состоянии компенсировать утечку воздуха из зазора под этой разницей давлений. Таким образом, физический смысл разницы давлений заключается в сопротивлении утечке (или инфильтрации) воздушного потока через различные щели в чистом помещении.
Время публикации: 21 июля 2023 г.