Защита окружающей среды уделяется все больше и больше внимания, особенно с увеличением погоды тумана. Инженерная инженерия чистой комнаты является одной из мер по защите окружающей среды. Как использовать чистую инженерию для работы, чтобы сделать хорошую работу в области охраны окружающей среды? Давайте поговорим о управлении в чистой инженерии комнаты.
Управление температурой и влажностью в чистой комнате
Температура и влажность чистых пространств в основном определяются на основе требований к процессу, но при удовлетворении требований к процессу необходимо учитывать комфорт человека. С улучшением требований к чистоте воздуха существует тенденция к более строгим требованиям к температуре и влажности в процессе.
В качестве общего принципа, из -за увеличения точности обработки, требования к диапазону колебаний температуры становятся меньше и меньше. Например, в процессе литографии и экспозиции крупномасштабного производства интегрированных цепи разница в коэффициенте термического расширения между стеклянными и кремниевыми пластинами, используемыми в качестве материалов маски, становится все более небольшим.
Кремниевая пластина диаметром 100 мкм вызывает линейное расширение 0,24 мкм, когда температура повышается на 1 градус. Следовательно, необходима постоянная температура ± 0,1 ℃, и значение влажности, как правило, низкое, потому что после потоотделения продукт будет загрязнен, особенно в семинарах по полупроводникам, которые боятся натрия. Этот тип семинара не должен превышать 25 ℃.
Чрезмерная влажность вызывает больше проблем. Когда относительная влажность превышает 55%, конденсация будет образуется на стенке трубы охлаждающей воды. Если это происходит в точных устройствах или схемах, это может вызвать различные несчастные случаи. Когда относительная влажность составляет 50%, ее легко ржаветь. Кроме того, когда влажность слишком высока, пыль, прилипшая к поверхности кремниевой пластины, будет химически адсорбирована на поверхности через молекулы воды в воздухе, что трудно удалить.
Чем выше относительная влажность, тем сложнее удалить адгезию. Однако, когда относительная влажность ниже 30%, частицы также легко адсорбируются на поверхности из -за действия электростатической силы, а большое количество полупроводниковых устройств подвержено разрушению. Оптимальный диапазон температур для производства кремния пластины составляет 35-45%.
Давление воздухаконтрольв чистой комнате
Для большинства чистых пространств, чтобы предотвратить вторжение внешнего загрязнения, необходимо поддерживать внутреннее давление (статическое давление) выше, чем внешнее давление (статическое давление). Поддержание разности давления должно соответствовать следующим принципам:
1. Давление в чистых пространствах должно быть выше, чем в не чистых пространствах.
2. Давление в пространствах с высоким уровнем чистоты должно быть выше, чем в соседних пространствах с низкими уровнями чистоты.
3. Двери между чистыми комнатами должны быть открыты в комнатах с высоким уровнем чистоты.
Поддержание разности давления зависит от количества свежего воздуха, который должен быть в состоянии компенсировать утечку воздуха из зазора в рамках этой разности давления. Таким образом, физическим значением разности давления является сопротивление утечки (или инфильтрационного) потока воздуха через различные зазоры в чистой комнате.
Время сообщения: июль-21-2023