Скорость доходности чипа в производственной промышленности IC тесно связана с размером и количеством частиц воздуха, нанесенных на чип. Хорошая организация воздушного потока может забрать частицы, генерируемые источником пыли вдали от чистой комнаты, чтобы обеспечить чистоту чистой комнаты, то есть организация воздушного потока в чистой комнате играет жизненно важную роль в скорости урожая производства IC. Конструкция организации воздушного потока в чистой комнате необходимо для достижения следующих целей: уменьшить или устранить вихревой ток в поле потока, чтобы избежать удержания вредных частиц; Поддерживайте соответствующий положительный градиент давления, чтобы предотвратить перекрестное загрязнение.
Воздушный поток
Согласно принципу чистой комнаты, силы, действующие на частицы, включают в себя массовую силу, молекулярную силу, притяжение между частицами, силой воздушного потока и т. Д.
Сила воздушного потока: относится к силе воздушного потока, вызванной доставкой, возвратом воздушного потока, тепловой конвекции, искусственным перемешиванием и другими потоками воздуха с определенной скоростью потока для переноса частиц. Для технического контроля в области чистой комнаты сила воздушного потока является наиболее важным фактором.
Эксперименты показали, что при движении воздушного потока частицы следуют за движением воздушного потока почти на одинаковой скорости. Состояние частиц в воздухе определяется распределением воздушного потока. Поток воздуха, которые влияют на частицы в помещении, в основном включают в себя: воздушный поток воздуха (включая первичный воздушный поток и вторичный воздушный поток), воздушный поток воздуха и тепловой конвекционный воздушный поток, вызванный ходьбой людей, и воздушный поток, вызванный эксплуатацией процесса и промышленным оборудованием. Различные методы снабжения воздуха, интерфейсы скорости, операторы и промышленное оборудование и индуцированные явления в чистых помещениях - все это факторы, влияющие на уровень чистоты.
Факторы, влияющие на организацию воздушного потока
1. Влияние метода подачи воздуха
(1). Скорость подачи воздуха
Чтобы обеспечить равномерный воздушный поток, скорость подачи воздуха должна быть равномерной в однонаправленной чистой комнате; Мертвая зона поверхности подачи воздуха должна быть небольшой; и падение давления в ULPA также должно быть равномерным.
Единая скорость подачи воздуха: то есть неравномерность воздушного потока контролируется в пределах ± 20%.
Меньшая мертвая зона на поверхности подачи воздуха: должна быть снижена плоская площадь рамы ULPA, но, что более важно, следует принять модульный FFU для упрощения избыточной рамы.
Для обеспечения вертикального однонаправленного воздушного потока выбор падения давления также очень важен, что требует, чтобы потери давления в фильтре не могли отклониться.
(2). Сравнение между системой FFU и системой вентилятора осевого потока
FFU - это блок подачи воздуха с вентилятором и фильтром (ULPA). После того, как воздух втягивается центробежным вентилятором FFU, динамическое давление превращается в статическое давление в воздуховоде и равномерно выдувается ULPA. Давление подачи воздуха на потолке является отрицательным давлением, так что при замене фильтра не будет протекать пыль в чистую комнату. Эксперименты показали, что система FFU превосходит систему осевого потока с точки зрения однородности выходов воздуха, параллелизма воздушного потока и индекса эффективности вентиляции. Это связано с тем, что параллелизм воздушного потока системы FFU лучше. Использование системы FFU может сделать воздушный поток в чистой комнате лучше организованным.
(3). Влияние собственной структуры FFU
FFU в основном состоит из вентиляторов, фильтров, устройств для воздушного потока и других компонентов. Ультра-высокоэффективный фильтр Ulpa является наиболее важной гарантией для того, может ли чистая комната достичь необходимой чистоты дизайна. Материал фильтра также повлияет на однородность поля потока. Когда к выходу фильтра добавляется грубый фильтр или ламинарный проточный пластину, поле потока на выходе может быть легко изготовлено.
2. Влияние различных скоростных интерфейсов чистоты
В той же чистой комнате, между рабочей зоной и неработающей зоной вертикального однонаправленного потока, из-за разницы в скорости воздуха на розетке ULPA, на границе раздела будет сгенерирован смешанный вихревой эффект, и этот график станет турбулентным зона воздушного потока с особенно высокой интенсивностью турбулентности воздуха. Частицы могут быть переданы на поверхность оборудования и загрязняют оборудование и пластины.
3. Влияние персонала и оборудования
Когда чистая комната пуста, характеристики воздушного потока в комнате обычно соответствуют требованиям конструкции. Как только оборудование выйдет в чистую комнату, перемещение персонала и передача продуктов, неизбежно будут препятствия для организации воздушного потока. Например, в выступающих углах или краях оборудования газ будет перемещаться, чтобы сформировать турбулентную зону, а жидкость в зоне нелегко унести газ, что вызывает загрязнение. В то же время поверхность оборудования будет нагреваться из -за непрерывной работы, а градиент температуры вызовет зону отрабатывания вблизи машины, что увеличит накопление частиц в зоне рефона. В то же время высокая температура легко приведет к выходу частиц. Двойной эффект усугубляет сложность контроля общей вертикальной ламинарной чистоты. Пыль от операторов в чистой комнате очень легко прилипать к пластинам в этих зонах выстроения.
4. Влияние обратного воздушного пола
Когда сопротивление возвращающегося воздуха, проходящего через пол, отличается, будет получена разность давления, так что воздух будет течь в направлении меньшего сопротивления, а равномерный поток воздуха не будет получен. Текущий популярный метод дизайна заключается в использовании повышенных этажей. Когда скорость открытия повышенных этажей составляет 10%, скорость воздушного потока в рабочей высоте комнаты может быть равномерно распределена. Кроме того, должно быть уделено строгому вниманию к чистке, чтобы уменьшить источник загрязнения пола.
5. Индукционный феномен
Так называемое явление индукции относится к явлению, что воздушный поток в противоположном направлении равномерного потока генерируется, и пыль, генерируемую в комнате или пыль в соседней загрязненной области индуцируется в сторону ветра, так что пыль может загрязнить чип. Ниже приведены возможные явления индукции:
(1). Слепая тарелка
В чистой комнате с вертикальным однонаправленным потоком из -за суставов на стене, как правило, есть большие слепые пластины, которые будут генерировать турбулентность в локальном обратном потоке.
(2). Лампы
Светильники в чистой комнате будут иметь большее влияние. Поскольку жара люминесцентных ламп приводит к тому, что воздушный поток поднимается, турбулентной площади под люминесцентными лампами не будет. Как правило, лампы в чистой комнате спроектированы в форме слез, чтобы уменьшить влияние ламп на организацию воздушного потока.
(3.) Разрывы между стенами
Когда есть пробелы между перегородками с различными уровнями чистоты или между перегородками и потолками, пыль из области с низкими требованиями к чистоте может быть передана в соседнюю область с высокими требованиями к чистоте.
(4). Расстояние между машиной и полом или стеной
Если разрыв между машиной и полом или стеной очень мал, это вызовет повторную турбулентность. Поэтому оставьте разрыв между оборудованием и стеной и поднимите машину, чтобы не позволить машине прикоснуться к земле напрямую.
Время публикации: февраль-05-2025