Урожай чипа в производственной промышленности тесно связан с размером и количеством частиц воздуха, нанесенных на ChIP. Организация хорошего воздушного потока может принимать частицы, генерируемые из источников пыли вдали от чистой комнаты и обеспечивать чистоту чистой комнаты. То есть организация воздушного потока в чистой комнате играет жизненно важную роль в урожайности производства чипов. Цели, которые должны быть достигнуты при разработке организации воздушного потока чистой комнаты: уменьшить или устранить вихревые токи в поле потока, чтобы избежать удержания вредных частиц; Поддерживать соответствующий положительный градиент давления для предотвращения перекрестного загрязнения.
Согласно принципу чистой комнаты, силы, действующие на частицы, включают в себя массовую силу, молекулярную силу, привлечение между частицами, силой воздушного потока и т. Д.
Сила воздушного потока: относится к силе воздушного потока, вызванной подачей и возвратом воздушного потока, тепловой конвекции, воздушным потоком, искусственным перемешиванием и другими потоками воздуха с определенной скоростью потока для переноски. Для контроля экологических технологий в чистой комнате сила воздушного потока является наиболее важным фактором.
Эксперименты показали, что при движении воздушного потока частицы следуют за воздушным потоком почти на одинаковой скорости. Состояние частиц в воздухе определяется распределением воздушного потока. Основное влияние воздушного потока на внутренние частицы включают в себя: воздушный поток воздуха (включая первичный воздушный поток и вторичный воздушный поток), воздушный поток и тепловой конвекционный воздушный поток, вызванный ходьбой людей, и воздействие воздушного потока на частицы, вызванные эксплуатацией процесса и промышленным оборудованием. Различные методы подачи воздуха, интерфейсы скорости, операторы и промышленное оборудование, индуцированные явления и т. Д. В чистых комнатах - все это факторы, которые влияют на уровень чистоты.
1. Влияние метода подачи воздуха
(1) Скорость подачи воздуха
Чтобы обеспечить равномерный воздушный поток, скорость подачи воздуха в чистом помещении однонаправленного потока должна быть равномерной; Мертвая зона на поверхности подачи воздуха должна быть небольшой; и падение давления в фильтре HEPA также должно быть равномерным.
Скорость подачи воздуха равномерна: то есть неравномерность воздушного потока контролируется в пределах ± 20%.
На поверхности подачи воздуха меньше мертвого пространства: для упрощения избыточной рамы следует использовать не только плоскостную площадь рамы HEPA, но, что более важно, модульный FFU.
Чтобы гарантировать, что воздушный поток является вертикальным и однонаправленным, выбор падения давления также очень важен, и требуется, чтобы потери давления в фильтре не могли быть смещены.
(2) Сравнение между системой FFU и системой осевого потока.
FFU - это блок подачи воздуха с вентилятором и фильтром HEPA. Воздух втягивается центробежным вентилятором FFU и преобразует динамическое давление в статическое давление в воздуховоде. Это равномерно взорвано фильтром HEPA. Давление подачи воздуха на потолке - отрицательное давление. Таким образом, не протекает в чистую комнату при замене фильтра. Эксперименты показали, что система FFU превосходит систему осевого потока с точки зрения однородности воздушного отверстия, параллелизма воздушного потока и индекса эффективности вентиляции. Это связано с тем, что параллелизм воздушного потока системы FFU лучше. Использование системы FFU может улучшить организацию воздушного потока в чистой комнате.
(3) Влияние собственной структуры FFU
FFU в основном состоит из вентиляторов, фильтров, направляющих воздушного потока и других компонентов. Фильтр HEPA является наиболее важной гарантией для чистой комнаты для достижения необходимой чистоты, необходимой по дизайну. Материал фильтра также повлияет на однородность поля потока. Когда к выходу фильтра добавляется грубый фильтр или проточная пластина, поле потока выходов может быть легко сделано равномерным.
2. Влияние интерфейса скорости с различной чистотой
В той же чистой комнате, между рабочей зоной и неработающей зоной с вертикальным однонаправленным потоком, из-за разницы в скорости воздуха в коробке HEPA, на границе раздела будет эффект смешанного вихря, и этот график станет турбулентным зона воздушного потока. Интенсивность воздушной турбулентности особенно сильна, и частицы могут передаваться на поверхность машины оборудования и загрязнять оборудование и пластины.
3. Влияние на персонал и оборудование
Когда чистая комната пуста, характеристики воздушного потока в комнате обычно соответствуют требованиям конструкции. После того, как оборудование входит в чистую комнату, люди движутся, и продукты транспортируются, для организации воздушного потока неизбежно будут препятствия, такие как острые точки, выступающие из машины оборудования. По углам или краям газ будет отклоняться, образуя турбулентную площадь потока, а жидкость в области не будет легко унесена входящим газом, что вызывает загрязнение.
В то же время поверхность механического оборудования будет нагреваться из -за непрерывной работы, а градиент температуры вызовет площадь отрабатывания вблизи машины, что увеличивает накопление частиц в области рефтова. В то же время высокая температура легко приведет к выходу частиц. Двойной эффект усиливает общий вертикальный слой. Сложность контроля чистоты потока. Пыль от операторов в чистой комнате может легко придерживаться пластин в этих областях.
4. Влияние обратного воздушного пола
Когда сопротивление возвращающегося воздуха, проходящего через пол, отличается, разность давления будет возникнуть, в результате чего воздух протекает в направлении небольшого сопротивления, а равномерный воздушный поток не будет получен. Текущий популярный метод дизайна заключается в использовании поднятого этажа. Когда коэффициент отверстия повышенного пола составляет 10%, скорость потока воздуха может быть равномерно распределена на рабочей высоте в помещении. Кроме того, должно быть уделено строгому вниманию чистки, чтобы уменьшить источник загрязнения на полу.
5. Индукционный феномен
Так называемое явление индукции относится к явлению генерации воздушного потока в противоположном направлении к однородному потоку, вызывая пыль, генерируемую в комнате или пыли в прилегающих загрязненных участках в сторону против ветра, что приводит к загрязнению пыли. Возможные индуцированные явления включают следующее:
(1) Слепая тарелка
В чистой комнате с вертикальным односторонним потоком из-за суставов на стене, как правило, есть большие слепые панели, которые будут производить турбулентный поток и локальный обратный поток.
(2) Лампы
Осветительные приспособления в чистой комнате будут иметь большее влияние. Поскольку жара люминесцентной лампы заставляет поток воздуха подниматься, люминесцентная лампа не станет турбулентной областью. Как правило, лампы в чистой комнате спроектированы в форме слез, чтобы уменьшить влияние ламп на организацию воздушного потока.
(3) Разрывы между стенами
Когда между стенами или потолками есть пробелы и потолками с различными требованиями к чистоте, пыль из областей с низкими требованиями к чистоте может быть передана в соседние участки с высокими требованиями к чистоте.
(4) Расстояние между механическим оборудованием и полом или стеной
Если разрыв между механическим оборудованием и полом или стеной невелик, произойдет отскок турбулентность. Поэтому оставьте разрыв между оборудованием и стеной и поднимите машинную платформу, чтобы избежать прямого контакта с землей.
Время сообщения: ноябрь-02-2023