Чистота чистого помещения определяется максимально допустимым количеством частиц на кубический метр (или на кубический фут) воздуха и обычно подразделяется на классы 10, 100, 1000, 10000 и 100000. В инженерии для поддержания уровня чистоты в помещении обычно используется циркуляция воздуха. В условиях строгого контроля температуры и влажности воздух поступает в чистое помещение после фильтрации через фильтр и покидает его через систему рециркуляции воздуха. Затем он фильтруется через фильтр и возвращается в чистое помещение.
Необходимые условия для достижения чистоты в помещении:
1. Чистота подаваемого воздуха: Для обеспечения чистоты подаваемого воздуха необходимо выбирать и устанавливать воздушные фильтры, необходимые для системы чистых помещений, в особенности конечные фильтры. Как правило, HEPA-фильтры рассчитаны на уровень 1 млн, а для класса 10000 можно использовать фильтры Sub-HEPA или HEPA; HEPA-фильтры с эффективностью фильтрации ≥99,9% могут использоваться для классов 10000–100; а фильтры с эффективностью фильтрации ≥99,999% могут использоваться для класса 100–1;
2. Распределение воздуха: выбор подходящего метода подачи воздуха должен осуществляться в соответствии с характеристиками чистого помещения и его системы. Различные методы подачи воздуха имеют свои преимущества и недостатки и должны проектироваться в соответствии с фактическими потребностями.
3. Объём приточного воздуха или скорость воздушного потока: достаточный объём вентиляции необходим для разбавления и удаления загрязнённого воздуха из помещения, который варьируется в зависимости от требований к чистоте. При повышении требований к чистоте следует соответственно увеличить кратность воздухообмена.
4. Статическая разность давлений: в чистом помещении необходимо поддерживать определенное положительное давление, чтобы гарантировать отсутствие загрязнения или снижение уровня загрязнения для поддержания чистоты.
Проектирование чистого помещения — сложный процесс. Вышеизложенное представляет собой лишь краткий обзор всей системы. Фактическое создание чистого помещения требует предварительных исследований, большого количества расчетов нагрузки на охлаждение и отопление, расчета баланса расхода воздуха и т.д. в среднесрочной перспективе, а также разумного инженерного проектирования, оптимизации, монтажа и ввода в эксплуатацию для обеспечения сбалансированности и эффективности всей системы.
Время публикации: 25 сентября 2023 г.