В настоящее время разработка различных отраслей является очень быстрой, с постоянно обновленными продуктами и более высокими требованиями для качества продукции и экологической среды. Это указывает на то, что различные отрасли промышленности также будут иметь более высокие требования для конструкции чистой комнаты.
Стандарт дизайна чистой комнаты
Код дизайна для чистой комнаты в Китае-стандарт GB50073-2013. Целый уровень чистоты воздуха в чистых помещениях и чистых местах должен быть определен в соответствии со следующим столом.
| Сорт | Максимальные частицы/м3 | Fed Std 209eequivalent | |||||
| > = 0,1 мкм | > = 0,2 мкм | > = 0,3 мкм | > = 0,5 мкм | > = 1 мкм | > = 5 мкм | ||
| ISO 1 | 10 | 2 | |||||
| ISO 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | |||
| ISO 3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | Класс 1 | |
| ISO 4 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | Класс 10 | |
| ISO 5 | 100 000 | 23 700 | 10 200 | 3520 | 832 | 29 | Класс 100 |
| ISO 6 | 1 000 000 | 237 000 | 102 000 | 35,200 | 8 320 | 293 | Класс 1000 |
| ISO 7 | 352 000 | 83,200 | 2930 | Класс 10000 | |||
| ISO 8 | 3520 000 | 832 000 | 29 300 | Класс 100 000 | |||
| ISO 9 | 35 200 000 | 8 320 000 | 293 000 | Комнатный воздух | |||
Образец воздушного потока и объем воздуха в чистых комнатах
1. Конструкция схемы воздушного потока должна соответствовать следующим правилам:
(1) Образец воздушного потока и объем воздуха в чистой комнате (зона) должны соответствовать требованиям. Когда требование уровня чистоты воздуха является более строгим, чем ISO 4, следует использовать однонаправленный поток; Когда чистота воздуха находится между ISO 4 и ISO 5, следует использовать однонаправленный поток; Когда чистота воздуха составляет ISO 6-9, следует использовать не направляющий поток.
(2) Распределение воздушного потока в рабочей зоне в чистой комнате должно быть равномерным.
(3) Скорость воздушного потока в рабочей зоне в чистой комнате должна соответствовать требованиям производственного процесса.
2. Объем подачи воздуха в чистой комнате должен иметь максимальное значение следующих трех элементов:
(1) Объем воздуха, который соответствует требованиям уровня чистоты воздуха.
(2) Объем подачи воздуха, определяемый на основе расчета нагрузок на тепло и влажности.
(3) сумма количества свежего воздуха, необходимого для компенсации объема выхлопного воздуха в помещении и поддерживать положительное давление в помещении; Убедитесь, что снабжение свежего воздуха каждому человеку в чистой комнате составляет не менее 40 м в час.
3. Расположение различных объектов в чистой комнате должна учитывать влияние на схемы воздушного потока и чистоту воздуха и должно соответствовать следующим правилам:
(1) Чистая рабочая панель не должна быть расположена в чистом месте в однонаправленном потоке, и возвращающийся воздушный розетка ненаправленной чистой комнаты по потоку должна находиться вдали от чистого рабочего стола.
(2) Процесс -оборудование, которое требует вентиляции, должна быть расположена на стороне с помощью чистой комнаты.
(3) Когда есть оборудование для отопления, следует принимать меры, чтобы уменьшить влияние потока горячего воздуха на распределение воздушного потока.
(4) Клапан остаточного давления должен быть расположен на стороне поток чистого воздушного потока.
Очистка воздуха
1. Выбор, расположение и установка воздушных фильтров должны соответствовать следующим правилам:
(1) Очистка воздуха должна разумно выбирать воздушные фильтры на основе уровня чистоты воздуха.
(2) Объем обработки воздуха воздушного фильтра должен быть меньше или равен объемом воздуха с номинальным.
(3) Средние или воздушные фильтры HEPA должны быть сконцентрированы в секции положительного давления кондиционера.
(4) При использовании фильтров Sub HEPA и фильтров HEPA в качестве конечных фильтров они должны быть установлены в конце системы кондиционирования очистки воздуха. Фильтры Ultra HEPA должны быть установлены в конце системы кондиционирования воздуха.
(5) Эффективность сопротивления воздушных фильтров HEPA (Sub HEPA, Ultra HEPA), установленных в той же чистой комнате, должна быть одинаковой.
(6) Метод установки воздушных фильтров HEPA (Sub HEPA, Ultra HEPA) должен быть плотным, простым, надежным и простым в обнаружении утечек и замены.
2. Свежий воздух системы очистки воздуха на более крупных чистых заводах должен быть обработан в центре очистки воздуха.
3. Конструкция системы кондиционирования очистки воздуха должна разумно использовать обратный воздух.
4. Поклонник системы кондиционирования очистки воздуха должен принять меры преобразования частоты.
- Меры по защите от замораживания должны быть приняты для выделенной системы наружного воздуха в тяжелых холодных и холодных районах.
Нагревание, вентиляция и контроль дыма
1. Чистые комнаты с чистотой воздуха выше, чем ISO 8, не разрешают использовать радиаторы для отопления.
2. Местные выхлопные устройства должны быть установлены для обработчивого оборудования, которое генерирует пыль и вредные газы в чистых комнатах.
3. В следующих ситуациях локальная выхлопная система должна быть настроена отдельно:
(1) Смешанная выхлопная среда может вырабатывать или усугублять коррозию, токсичность, сжигание и опасность взрыва, а также перекрестное загрязнение.
(2) Среда выхлопа содержит токсичные газы.
(3) Среда выхлопа содержит легковоспламеняющиеся и взрывные газы.
4. Проектирование выхлопной системы чистой комнаты должна соответствовать следующим правилам:
(1) Наружный воздушный поток должен быть предотвращен.
(2) Локальные выхлопные системы, содержащие легковоспламеняющиеся и взрывные вещества, должны принять соответствующие меры по предотвращению пожаров и взрыва на основе их физических и химических свойств.
(3) Когда концентрация и скорость выбросов вредных веществ в выхлопной среде превышают национальные или региональные правила на концентрации и скорости выбросов в вредных веществах, следует провести безвредное лечение.
(4) Для выхлопных систем, содержащих водяной пара и сгущаемые вещества, склоны и выходы с выбросами должны быть установлены.
5. Вентиляционные меры должны быть приняты для вспомогательных производственных помещений, таких как изменение обуви, хранение одежды, мытье, туалеты и душевые, а также статическое значение в помещении должно быть ниже, чем у чистой зоны.
6. Согласно требованиям производственного процесса, должна быть установлена система выхлопных аварий. Система выхлопных аварий должна быть оснащена автоматическими и ручными переключателями управления, а переключатели ручного управления должны быть расположены отдельно в чистой комнате и снаружи для легкой работы.
7. Установка выхлопных средств для дымовых выхлопных средств в чистых мастерских должна соответствовать следующим правилам:
(1) Механический дымовой выхлоп должен быть установлен в эвакуационных коридорах чистых семинаров.
(2) Установки выхлопных газов дыма, установленные в чистой мастерской, должны соответствовать соответствующим положениям нынешнего национального стандарта.
Другие меры для дизайна чистой комнаты
1. Чистая мастерская должна быть оборудована комнатами и удобствами для очистки персонала и очистки материала, а также для жизни и других комнат по мере необходимости.
2. Установка комнат очистки персонала и жилых комнат должна соответствовать следующим правилам:
(1) Комната должна быть установлена для очистки персонала, например, хранение дождевиков, переодевание обуви и пальто, а также смена чистой рабочей одежды.
(2) Туалеты, ванные комнаты, душевые комнаты, комнаты отдыха и другие гостиные, а также воздушные душевые комнаты, воздушные замки, рабочие комнаты для мытья одежды и сушильные комнаты могут быть установлены по мере необходимости.
3. Проект кадров и жилых комнат должен соответствовать следующим правилам:
(1) Меры для очистки обуви должны быть установлены при входе в комнату очистки персонала.
(2) Комнаты для хранения пальто и смены чистой рабочей одежды должны быть установлены отдельно.
(3) Шкаф для хранения внешней одежды должен быть спроектирован с одним шкафом на человека, а чистая рабочая одежда должна быть подвешена в чистом шкафу с воздушным ударом и душем.
(4) В ванной комнате должны быть удобства для мытья рук и сушки.
(5) Воздушная душевая комната должна быть расположена у входа в персонал в чистую зону и рядом с чистой рабочей одеждой. Одна человеческая воздушная душевая комната расположена на каждые 30 человек в максимальном количестве смен. Когда в чистой зоне будет более 5 сотрудников, на одной стороне воздушной душевой комнаты должна быть установлена обходная дверь.
(6) Вертикальные однонаправленные чистые помещения, которые являются более строгими, чем ISO 5, должны иметь воздушные замки.
(7) Туалеты не допускаются в чистых местах. Туалет в комнате для очистки персонала должен иметь переднюю комнату.
4. Путь пешеходов должен соответствовать следующим правилам:
(1) Путь пешеходов должен избежать возврата перекрестков.
(2) Расположение комнат очистки персонала и жилых комнат должна соответствовать процедурам очистки персонала.
5. В соответствии с различными уровнями чистоты воздуха и количеству персонала, здание комнаты для очистки персонала и гостиной в чистой мастерской, должна быть разумно определена и должна быть рассчитана на основе среднего числа людей в чистой зоне Дизайн, от 2 квадратных метров до 4 квадратных метров на человека.
6. Требования к очистке воздуха для чистого рабочей одежды для замены комнат для одежды и промывки должны быть определены на основе требований к процессу продукта и уровня чистоты воздуха соседних чистых комнат (области).
7. Оборудование для чистой комнаты и входы и выходы на материалы должны быть оснащены комнатами для очистки материала и средствами на основе свойств, форм и других характеристик оборудования и материалов. Расположение комнаты для очистки материала должна предотвратить загрязнение очищенного материала во время передачи.
Время сообщения: июль-17-2023