Помимо строгого контроля за частицами, к чистым помещениям для производства электроники, таким как цеха по производству микросхем, цеха по производству интегральных схем без пыли и цеха по производству дисков, предъявляются более строгие требования к контролю температуры и влажности, освещенности и микрошокам. Необходимо строго исключить воздействие статического электричества на продукцию, чтобы обеспечить соответствие производственной среды требованиям чистоты для электронных изделий.
Температура и влажность в чистом помещении для производства электроники должны определяться в соответствии с требованиями производственного процесса. При отсутствии конкретных требований к производственному процессу температура может составлять 20-26°C, а относительная влажность — 30-70%. Температура в чистом помещении для персонала и жилом помещении может составлять 16-28°C. В соответствии с китайским национальным стандартом GB-50073, который соответствует международным стандартам ISO, уровень чистоты этого типа чистого помещения составляет 1-9. В этом случае классы 1-5 характеризуются однонаправленным или смешанным потоком воздуха; класс 6 — ненаправленным потоком воздуха, частота воздухообмена 50-60 раз в час; класс 7 — ненаправленным потоком воздуха, частота воздухообмена 15-25 раз в час; классы 8-9 — ненаправленным потоком воздуха, частота воздухообмена 10-15 раз в час.
Согласно действующим техническим требованиям, уровень шума в электронных чистых помещениях класса 10 000 не должен превышать 65 дБ(А).
1. В чистых помещениях для электроники доля чистого воздуха с вертикальным потоком должна составлять не менее 60%, а доля чистого воздуха с горизонтальным однонаправленным потоком — не менее 40%, в противном случае поток будет частичным однонаправленным.
2. Разница статического давления между чистым помещением для электроники и наружным пространством не должна быть меньше 10 Па, а разница статического давления между чистыми зонами и нечистыми зонами с различной чистотой воздуха не должна быть меньше 5 Па.
3. Количество свежего воздуха в чистом помещении класса 10000 для электроники должно принимать значения следующих двух параметров.
4. Компенсируйте сумму объема отводимого внутри помещения воздуха и объема свежего воздуха, необходимых для поддержания положительного давления внутри помещения.
5. Обеспечьте, чтобы количество свежего воздуха, подаваемого в чистое помещение на одного человека в час, составляло не менее 40 квадратных метров.
Дата публикации: 08.04.2024