Помимо строгого контроля частиц, в чистых помещениях для электронного оборудования, таких как цеха по производству микросхем, цеха по производству интегральных схем с защитой от пыли и цеха по производству дисков, также предъявляются повышенные требования к контролю температуры и влажности, освещенности и микроударам. Необходимо строго исключить воздействие статического электричества на продукцию, чтобы окружающая среда соответствовала требованиям к чистоте производства электронных изделий.
Температура и влажность в электронном чистом помещении должны определяться в соответствии с требованиями производственного процесса. Если нет особых требований к производственному процессу, температура может быть 20-26 ° C, а относительная влажность 30% -70%. Температура в чистом помещении для персонала и жилом помещении может быть 16-28 ℃. Согласно китайскому национальному стандарту GB-50073, который соответствует международным стандартам ISO, уровень чистоты этого типа чистого помещения составляет 1-9. Среди них, класс 1-5, схема потока воздуха представляет собой однонаправленный поток или смешанный поток; класс 6 схема потока воздуха представляет собой неоднонаправленный поток и воздухообмен составляет 50-60 раз/ч; класс 7 тип потока воздуха представляет собой неоднонаправленный поток и воздухообмен составляет 15-25 раз/ч; класс 8-9 тип потока воздуха представляет собой неоднонаправленный поток и воздухообмен составляет 10-15 раз/ч.
Согласно действующим нормативам уровень шума в электронном чистом помещении класса 10 000 не должен превышать 65 дБ(А).
1. Полное соотношение вертикального потока в чистом помещении для электронного оборудования должно быть не менее 60%, а горизонтального однонаправленного потока в чистом помещении должно быть не менее 40%, в противном случае это будет частично однонаправленный поток.
2. Разность статического давления между электронным чистым помещением и наружным пространством должна быть не менее 10 Па, а разность статического давления между чистыми зонами и нечистыми зонами с различной чистотой воздуха должна быть не менее 5 Па.
3. Количество свежего воздуха в чистом помещении для электронного оборудования класса 10000 должно соответствовать значению следующих двух показателей.
4. Компенсируйте сумму объема отводимого воздуха из помещения и объема свежего воздуха, необходимого для поддержания значения положительного давления в помещении.
5. Обеспечить, чтобы количество свежего воздуха, подаваемого в чистое помещение на одного человека в час, составляло не менее 40 квадратных метров.
Время публикации: 08.04.2024