В дополнение к строгому управлению частицами, электронная чистая комната, представленная мастер-классы по производству чипов, мастер-классы по производству без пыли без пыли и семинары по производству дисков, также имеют более строгие требования для контроля температуры и влажности, освещения и микро-шока. Строго удалить влияние статического электричества на производственные продукты, чтобы окружающая среда могла соответствовать требованиям производственного процесса электронных продуктов в чистой среде.
Температура и влажность электронной чистой комнаты должны быть определены в соответствии с требованиями производственного процесса. Когда для производственного процесса нет конкретных требований, температура может быть 20-26 ° C, а относительная влажность составляет 30-70%. Температура персонала чистой комнаты и гостиной может быть 16-28 ℃. Согласно китайскому национальному стандарту GB-50073, который соответствует международным стандартам ISO, уровень чистоты чистой комнаты этого типа составляет 1-9. Среди них, класс 1-5, картина воздушного потока является однонаправленным потоком или смешанным потоком; Паттерн воздушного потока класса 6 представляет собой нежидиальный поток, а изменение воздуха составляет 50-60 раз/ч; Тип воздушного потока класса 7-это нежиральный поток, а изменение воздуха составляет 15-25 раз/ч; Тип воздушного потока класса 8-9-это нежидиарный поток, изменение воздуха в 10-15 раз/ч.
Согласно текущим спецификациям, уровень шума в пределах класса 10 000 электронных чистых помещений не должен быть более 65 дБ (а).
1. Полное соотношение вертикальной чистой комнаты в электронной чистой комнате не должно составлять менее 60%, а горизонтальная однонаправленная чистая комната должна составлять не менее 40%, в противном случае это будет частичный однонаправленный поток.
2. Разница в статическом давлении между электронным чистым помещением и на открытом воздухе не должна составлять не менее 10 пА, а разность статического давления между чистыми областями и нечистыми областями с различной чистотой воздуха не должна составлять не менее 5pa.
3. Количество свежего воздуха в электронной чистой комнате класса 10000 должно взять стоимость следующих двух элементов.
4. компенсируйте сумму объема выхлопного воздуха в помещении и объема свежего воздуха, необходимый для поддержания значения положительного давления в помещении.
5. Убедитесь, что количество свежего воздуха, поставляемого в чистую комнату на человека в час, не менее 40 квадратных метров.
Пост времени: апрель-08-2024