Помимо строгого контроля частиц, чистые помещения для электроники, представленные цехами по производству микросхем, цехами по производству беспыльных интегральных схем и цехами по производству дисков, также предъявляют более строгие требования к контролю температуры и влажности, освещению и микроударам.Строго устраняйте воздействие статического электричества на производственную продукцию, чтобы окружающая среда могла соответствовать требованиям производственного процесса электронной продукции в чистой среде.
Температура и влажность в чистом помещении для электроники должны определяться в соответствии с требованиями производственного процесса.Когда нет особых требований к производственному процессу, температура может составлять 20–26°C, а относительная влажность – 30–70%.Температура в чистой комнате и гостиной для персонала может составлять 16–28 ℃.Согласно китайскому национальному стандарту GB-50073, который соответствует международным стандартам ISO, уровень чистоты этого типа чистых помещений составляет 1-9.Среди них класс 1-5, схема воздушного потока однонаправленная или смешанная;класс 6 - схема воздушного потока - неоднонаправленный поток и смена воздуха 50-60 раз/час;тип воздушного потока класса 7 - неоднонаправленный поток, смена воздуха - 15-25 раз/час;класс 8-9, тип потока воздуха - неоднонаправленный, смена воздуха 10-15 раз/час.
Согласно действующим спецификациям, уровень шума в чистом помещении для электроники класса 10 000 не должен превышать 65 дБ(А).
1. Полное соотношение чистой комнаты с вертикальным потоком в чистой комнате с электроникой не должно быть менее 60%, а чистая комната с горизонтальным однонаправленным потоком не должно быть менее 40%, в противном случае это будет частичный однонаправленный поток.
2. Разница статического давления между чистой комнатой с электроникой и снаружи не должна быть менее 10 Па, а разница статического давления между чистыми и нечистыми зонами с различной чистотой воздуха не должна быть менее 5 Па.
3. Количество свежего воздуха в чистом помещении с электроникой класса 10000 должно принимать значения следующих двух пунктов.
4. Компенсируйте сумму объема вытяжного воздуха внутри помещения и объема свежего воздуха, необходимую для поддержания значения положительного давления внутри помещения.
5. Обеспечить, чтобы количество свежего воздуха, подаваемого в чистое помещение на человека в час, составляло не менее 40 квадратных метров.
Время публикации: 08 апреля 2024 г.